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지식나눔

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LPCVD 로 a-Si 증착을 1㎛단위로 할수 있나요..?

2007-10-08 org.kosen.entty.User@4f6bd848 권재환(dukekjh)
  • 5
안녕하세요. Solar cell을 공부하는 석사과정 학생입니다 저희 실험실에 PECVD 와 LPCVD 둘다 있는데 LPCVD 로만 a-Si을 dep합니다. 솔라셀 i-layer를 1㎛ dep 해야하는데.. 저희 조건으로는 dep 이 잘 되지 않아서요.. 시간이 너무 길거나.. 혹시 LPCVD 로는 너무 오래걸리는건지.. 유량을 심히 높이는 방법으로 하면 되는건지.. 아님 불가능한건지 여쭙고 싶습니다.. 사정상 PECVD 로는 dep 이 불가능해서 LPCVD 로 해결을 봐야하는 상황이라서요.. 답변 부탁드리겠습니다 ** 혹 a-Si 을 사용해서 Solar cell 연구하시는 연구소나 대학실험실 알고 계시면 좀 알려주시면 거기에 여쭈어 보면 되는데.. 제가 찾아보았는데 못찾아서.. 알고 계시면 좀 알려주세요 부탁드립니다
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답변 5
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    고상운님의 답변

    2007-10-08
    • 0
    >안녕하세요. Solar cell을 공부하는 석사과정 학생입니다 > >저희 실험실에 PECVD 와 LPCVD 둘다 있는데 LPCVD 로만 a-Si을 dep합니다. > >솔라셀 i-layer를 1㎛ dep 해야하는데.. 저희 조건으로는 dep 이 잘 되지 않아서요.. > >시간이 너무 길거나.. > >혹시 LPCVD 로는 너무 오래걸리는건지.. 유량을 심히 높이는 방법으로 하면 되는건지.. > >아님 불가능한건지 여쭙고 싶습니다.. > >사정상 PECVD 로는 dep 이 불가능해서 LPCVD 로 해결을 봐야하는 상황이라서요.. > >답변 부탁드리겠습니다 > >** 혹 a-Si 을 사용해서 Solar cell 연구하시는 연구소나 대학실험실 알고 계시면 좀 알려주시면 거기에 여쭈어 보면 되는데.. 제가 찾아보았는데 못찾아서.. 알고 계시면 좀 알려주세요 부탁드립니다 제 개인적인 짧은 소견은, 공정의 한계를 넘어서지 못하는 것 같습니다. 역시나 PECVD를 사용하셔야 할거 같은데요, PECVD를 사용하지 못하는 이유가 있나요?
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    >안녕하세요. Solar cell을 공부하는 석사과정 학생입니다 > >저희 실험실에 PECVD 와 LPCVD 둘다 있는데 LPCVD 로만 a-Si을 dep합니다. > >솔라셀 i-layer를 1㎛ dep 해야하는데.. 저희 조건으로는 dep 이 잘 되지 않아서요.. > >시간이 너무 길거나.. > >혹시 LPCVD 로는 너무 오래걸리는건지.. 유량을 심히 높이는 방법으로 하면 되는건지.. > >아님 불가능한건지 여쭙고 싶습니다.. > >사정상 PECVD 로는 dep 이 불가능해서 LPCVD 로 해결을 봐야하는 상황이라서요.. > >답변 부탁드리겠습니다 > >** 혹 a-Si 을 사용해서 Solar cell 연구하시는 연구소나 대학실험실 알고 계시면 좀 알려주시면 거기에 여쭈어 보면 되는데.. 제가 찾아보았는데 못찾아서.. 알고 계시면 좀 알려주세요 부탁드립니다 제 개인적인 짧은 소견은, 공정의 한계를 넘어서지 못하는 것 같습니다. 역시나 PECVD를 사용하셔야 할거 같은데요, PECVD를 사용하지 못하는 이유가 있나요?
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    정대영님의 답변

    2007-10-08
    • 0
    PECVD로는 시간이 너무많이 걸립니다. 3시간 정도 걸린다고 합니다. 유량을 많이 흘리게 되면 층의 물성이 달라질 수 있습니다.
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    PECVD로는 시간이 너무많이 걸립니다. 3시간 정도 걸린다고 합니다. 유량을 많이 흘리게 되면 층의 물성이 달라질 수 있습니다.
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  • 답변

    권재환님의 답변

    2007-10-08
    • 0
    >안녕하세요. Solar cell을 공부하는 석사과정 학생입니다 > >저희 실험실에 PECVD 와 LPCVD 둘다 있는데 LPCVD 로만 a-Si을 dep합니다. > >솔라셀 i-layer를 1㎛ dep 해야하는데.. 저희 조건으로는 dep 이 잘 되지 않아서요.. > >시간이 너무 길거나.. > >혹시 LPCVD 로는 너무 오래걸리는건지.. 유량을 심히 높이는 방법으로 하면 되는건지.. > >아님 불가능한건지 여쭙고 싶습니다.. > >사정상 PECVD 로는 dep 이 불가능해서 LPCVD 로 해결을 봐야하는 상황이라서요.. > >답변 부탁드리겠습니다 > >** 혹 a-Si 을 사용해서 Solar cell 연구하시는 연구소나 대학실험실 알고 계시면 좀 알려주시면 거기에 여쭈어 보면 되는데.. 제가 찾아보았는데 못찾아서.. 알고 계시면 좀 알려주세요 부탁드립니다 LPCVD 로는 5시간 그정도 해야하는건가요.. ? 교수님께서 LPCVD 로만 하라고 지시를 하시는데.. SiH4 400 SCCM 혹은 그이상으로 흘려서 하라는데 폭발의 위협이 느껴져서 지금 못하고 있습니다.. 가능하기는 한건가요..?
    답변수정
    >안녕하세요. Solar cell을 공부하는 석사과정 학생입니다 > >저희 실험실에 PECVD 와 LPCVD 둘다 있는데 LPCVD 로만 a-Si을 dep합니다. > >솔라셀 i-layer를 1㎛ dep 해야하는데.. 저희 조건으로는 dep 이 잘 되지 않아서요.. > >시간이 너무 길거나.. > >혹시 LPCVD 로는 너무 오래걸리는건지.. 유량을 심히 높이는 방법으로 하면 되는건지.. > >아님 불가능한건지 여쭙고 싶습니다.. > >사정상 PECVD 로는 dep 이 불가능해서 LPCVD 로 해결을 봐야하는 상황이라서요.. > >답변 부탁드리겠습니다 > >** 혹 a-Si 을 사용해서 Solar cell 연구하시는 연구소나 대학실험실 알고 계시면 좀 알려주시면 거기에 여쭈어 보면 되는데.. 제가 찾아보았는데 못찾아서.. 알고 계시면 좀 알려주세요 부탁드립니다 LPCVD 로는 5시간 그정도 해야하는건가요.. ? 교수님께서 LPCVD 로만 하라고 지시를 하시는데.. SiH4 400 SCCM 혹은 그이상으로 흘려서 하라는데 폭발의 위협이 느껴져서 지금 못하고 있습니다.. 가능하기는 한건가요..?
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    김희연님의 답변

    2007-10-09
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    >안녕하세요. Solar cell을 공부하는 석사과정 학생입니다 > >저희 실험실에 PECVD 와 LPCVD 둘다 있는데 LPCVD 로만 a-Si을 dep합니다. > >솔라셀 i-layer를 1㎛ dep 해야하는데.. 저희 조건으로는 dep 이 잘 되지 않아서요.. > >시간이 너무 길거나.. > >혹시 LPCVD 로는 너무 오래걸리는건지.. 유량을 심히 높이는 방법으로 하면 되는건지.. > >아님 불가능한건지 여쭙고 싶습니다.. > >사정상 PECVD 로는 dep 이 불가능해서 LPCVD 로 해결을 봐야하는 상황이라서요.. > >답변 부탁드리겠습니다 > >** 혹 a-Si 을 사용해서 Solar cell 연구하시는 연구소나 대학실험실 알고 계시면 좀 알려주시면 거기에 여쭈어 보면 되는데.. 제가 찾아보았는데 못찾아서.. 알고 계시면 좀 알려주세요 부탁드립니다 실제로 올려본 사례가 있습니다. 연구소나 실험실은 찾기가 힘들것 같고, 경험많은 정부 및 민간 FAB쪽으로 알아보시는게 빠를듯합니다. JML, Nanofab, MSS등에 알아보시면 될겁니다.
    답변수정
    >안녕하세요. Solar cell을 공부하는 석사과정 학생입니다 > >저희 실험실에 PECVD 와 LPCVD 둘다 있는데 LPCVD 로만 a-Si을 dep합니다. > >솔라셀 i-layer를 1㎛ dep 해야하는데.. 저희 조건으로는 dep 이 잘 되지 않아서요.. > >시간이 너무 길거나.. > >혹시 LPCVD 로는 너무 오래걸리는건지.. 유량을 심히 높이는 방법으로 하면 되는건지.. > >아님 불가능한건지 여쭙고 싶습니다.. > >사정상 PECVD 로는 dep 이 불가능해서 LPCVD 로 해결을 봐야하는 상황이라서요.. > >답변 부탁드리겠습니다 > >** 혹 a-Si 을 사용해서 Solar cell 연구하시는 연구소나 대학실험실 알고 계시면 좀 알려주시면 거기에 여쭈어 보면 되는데.. 제가 찾아보았는데 못찾아서.. 알고 계시면 좀 알려주세요 부탁드립니다 실제로 올려본 사례가 있습니다. 연구소나 실험실은 찾기가 힘들것 같고, 경험많은 정부 및 민간 FAB쪽으로 알아보시는게 빠를듯합니다. JML, Nanofab, MSS등에 알아보시면 될겁니다.
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    김선영님의 답변

    2011-03-15
    • 0
    LPCVD같은 장비는 low dep.을 가지는 대신에 표면 uni.%가 좋은 편이라서 실제 실험에 적용해도 평균이상의 결과를 나타낼 수 있을거 같은데요. 이런 성질을 PECVD로 구현하려고해도 시간은 역시 오래걸릴 것으로 예상합니다. 아마 low power 조건으로 가줘야 비슷하게 나올거니까요. 현제 보유하고 있는 장비의 크기나 사용 가스 E/S 등의 변수에 따라 많이 달라질 수는 있겠지만 굳이 시간을 단축하고 싶으시다면 power를 낮추거나 유량을 세게주거나 E/S를 약간(1mm~3mm)정도 조절해 보시는게 어떨까 하는 생각입니다. 아직 대학원생이시면 좋은 결과가 나오는게 더 중요하지 않나요.^^ 저도 실험해봐서 I층 쌓는데 3시간 이렇게 걸리면 힘들었었는데, 그나마 결과가 잘 나오면 위로가 되더라구요. >안녕하세요. Solar cell을 공부하는 석사과정 학생입니다 >>저희 실험실에 PECVD 와 LPCVD 둘다 있는데 LPCVD 로만 a-Si을 dep합니다. >>솔라셀 i-layer를 1㎛ dep 해야하는데.. 저희 조건으로는 dep 이 잘 되지 않아서요.. >>시간이 너무 길거나.. >>혹시 LPCVD 로는 너무 오래걸리는건지.. 유량을 심히 높이는 방법으로 하면 되는건지.. >>아님 불가능한건지 여쭙고 싶습니다.. >>사정상 PECVD 로는 dep 이 불가능해서 LPCVD 로 해결을 봐야하는 상황이라서요.. >>답변 부탁드리겠습니다 >>** 혹 a-Si 을 사용해서 Solar cell 연구하시는 연구소나 대학실험실 알고 계시면 좀 알려주시면 거기에 여쭈어 보면 되는데.. 제가 찾아보았는데 못찾아서.. 알고 계시면 좀 알려주세요 부탁드립니다
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    LPCVD같은 장비는 low dep.을 가지는 대신에 표면 uni.%가 좋은 편이라서 실제 실험에 적용해도 평균이상의 결과를 나타낼 수 있을거 같은데요. 이런 성질을 PECVD로 구현하려고해도 시간은 역시 오래걸릴 것으로 예상합니다. 아마 low power 조건으로 가줘야 비슷하게 나올거니까요. 현제 보유하고 있는 장비의 크기나 사용 가스 E/S 등의 변수에 따라 많이 달라질 수는 있겠지만 굳이 시간을 단축하고 싶으시다면 power를 낮추거나 유량을 세게주거나 E/S를 약간(1mm~3mm)정도 조절해 보시는게 어떨까 하는 생각입니다. 아직 대학원생이시면 좋은 결과가 나오는게 더 중요하지 않나요.^^ 저도 실험해봐서 I층 쌓는데 3시간 이렇게 걸리면 힘들었었는데, 그나마 결과가 잘 나오면 위로가 되더라구요. >안녕하세요. Solar cell을 공부하는 석사과정 학생입니다 >>저희 실험실에 PECVD 와 LPCVD 둘다 있는데 LPCVD 로만 a-Si을 dep합니다. >>솔라셀 i-layer를 1㎛ dep 해야하는데.. 저희 조건으로는 dep 이 잘 되지 않아서요.. >>시간이 너무 길거나.. >>혹시 LPCVD 로는 너무 오래걸리는건지.. 유량을 심히 높이는 방법으로 하면 되는건지.. >>아님 불가능한건지 여쭙고 싶습니다.. >>사정상 PECVD 로는 dep 이 불가능해서 LPCVD 로 해결을 봐야하는 상황이라서요.. >>답변 부탁드리겠습니다 >>** 혹 a-Si 을 사용해서 Solar cell 연구하시는 연구소나 대학실험실 알고 계시면 좀 알려주시면 거기에 여쭈어 보면 되는데.. 제가 찾아보았는데 못찾아서.. 알고 계시면 좀 알려주세요 부탁드립니다
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