2007-10-15
org.kosen.entty.User@123f0dff
김형섭(gtool77)
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Mg모재에 PVD장비로 박막을 증착하려고 합니다.
이것이 상당히 어렵다고 알고 있는데요.
Mg의 일반적인 특징과 박막증착이 어려운 이유가 궁금합니다.
박막을 증착할 수 있다면 방법과 참고할 만한 자료가 있을까요?
그리고 전처리를 어떻게 해주는지도 궁금합니다.
자료 좀 주세요~~~^^
- Mg
- thin film
- PVD
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답변 2
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답변
안길홍님의 답변
2007-10-16- 0
Mg금속은 상당히 corrosive하고,온도가 올라가면 휘발성의 특성을 나타내며,Mg 자체의 autoignition temp가 470 ℃정도이기 때문에 PVD coating은 매우 어렵습니다.따라서 Mg는 합금으로써 내식성등을 향상시키고 있으며,이러한 합금에는 mischmetal 또는 zirconium등이 사용됩니다.Mg은 경량이므로 경량이 요구되는 각종 장치,예를들어 자동차,휴대폰,노트북컴퓨터등에로 적용되어 지고 있습니다. 따라서 귀하가 pure Mg metal을 소재로 하여 PVD 또는 CVD방법으로 thin film을 올리는것은 매우 어려울 것으로 생각되며,또한 설혹 coating을 하였다고 하여도 금속이 무르기때문에 적용가능한 범위가 좁을 것으로 생각합니다.따라서 소재를 Mg 합금으로 변경하여 적용하여 보시는 것이 좋을 것 같습니다. 몇가지 자료를 참고file로 올립니다. -
답변
이영국님의 답변
2007-10-16- 0
>Mg모재에 PVD장비로 박막을 증착하려고 합니다. >이것이 상당히 어렵다고 알고 있는데요. >Mg의 일반적인 특징과 박막증착이 어려운 이유가 궁금합니다. >박막을 증착할 수 있다면 방법과 참고할 만한 자료가 있을까요? >그리고 전처리를 어떻게 해주는지도 궁금합니다. 질문이 조금 모호한데 Mg위에 다른 재료를 증착하는것인가요? 아니면 Mg를 증착하는 것인가요? 일단 아래의 답은 Mg 증착에 관한 것입니다. Mg는 반응성이 좋고 쉽게 산화하기 때문에 박막증착이 어렵습니다. 또한 휘발성이 좋아 온도가 높아지면 휘발합니다. 그리고 고온에서 산소와 만나면 탑니다. (옛날 구식 카메라의 '펑'하고 터지는 플래시 원료가 Mg 분말인것 아시죠?) 그나마 PVD (스퍼터링)는 공정 온도가 낮기 때문에 증착이 가능하지만 대기중에서 MgO 또는 Mg(OH)2로 쉽게 변합니다. CVD로 Mg박막을 증착하려면 초고진공 시스템이 필요합니다. 잔류산소가 조금이라도 있으면 MgO 생성을 막기 어렵습니다. 또 다른 문제는 Mg가 챔버를 오염시키는 것입니다. 챔버 벽에 붙은 Mg는 제거가 상당히 어렵기 때문에 오랜시간 동안 오염원으로 작용합니다. 전처리는 어떤 재질위에 올리느냐에 따라 달라지므로 재료를 언급해 주시면 다시 답해 드리겠습니다.