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Al2O3~~~ SEM 분석

TMA를 ALD 방법으로 Al2O3 필름을 만들고 있습니다. SEM 으로 plan view 를 볼때 아무것도 안보입니다. Pt로 코팅을 해봐도 pt만 보입니다. 원래 안보이나요? 그 이유를 알고 싶습니다. 일단 눈으로는 막이 올라간것이 확실히 보입니다. (색 변화) 단면을 봐도 잘 안보이는데 ..... 홀 패턴 기판에 증착을 하면 보이는거 같네요.... Al2O3 두께를 구하고 싶은데 난감합니다. AFM으로 봐야 할까요? 아무튼 답변 부탁드립니다.
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답변 8
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    김도형님의 답변

    기판의 종류 및 Al2O3의 예상 두께가 얼마나 되는지요. 혹시 너무 얇아 SEM이 아닌 TEM으로 보아야 하는 영역은 아닌지... 아니면 기판과 잘 구별이 되지 않는 문제라면 포토숍같은 그림 편집 프로그램에서 contrast 조절을 하면 구분이 되는 경우도 많습니다. 그것이 아니라 너무 얇아서 SEM으로 구별하기 어려운 영역이라면 TEM으로 보시던지 ellipsometer 를 이용하여 두께를 확인하는 것도 한 방법일 것입니다. >TMA를 ALD 방법으로 Al2O3 필름을 만들고 있습니다. > >SEM 으로 plan view 를 볼때 아무것도 안보입니다. >Pt로 코팅을 해봐도 pt만 보입니다. >원래 안보이나요? 그 이유를 알고 싶습니다. > >일단 눈으로는 막이 올라간것이 확실히 보입니다. >(색 변화) > >단면을 봐도 잘 안보이는데 ..... >홀 패턴 기판에 증착을 하면 보이는거 같네요.... > >Al2O3 두께를 구하고 싶은데 난감합니다. >AFM으로 봐야 할까요? > >아무튼 답변 부탁드립니다.
    기판의 종류 및 Al2O3의 예상 두께가 얼마나 되는지요. 혹시 너무 얇아 SEM이 아닌 TEM으로 보아야 하는 영역은 아닌지... 아니면 기판과 잘 구별이 되지 않는 문제라면 포토숍같은 그림 편집 프로그램에서 contrast 조절을 하면 구분이 되는 경우도 많습니다. 그것이 아니라 너무 얇아서 SEM으로 구별하기 어려운 영역이라면 TEM으로 보시던지 ellipsometer 를 이용하여 두께를 확인하는 것도 한 방법일 것입니다. >TMA를 ALD 방법으로 Al2O3 필름을 만들고 있습니다. > >SEM 으로 plan view 를 볼때 아무것도 안보입니다. >Pt로 코팅을 해봐도 pt만 보입니다. >원래 안보이나요? 그 이유를 알고 싶습니다. > >일단 눈으로는 막이 올라간것이 확실히 보입니다. >(색 변화) > >단면을 봐도 잘 안보이는데 ..... >홀 패턴 기판에 증착을 하면 보이는거 같네요.... > >Al2O3 두께를 구하고 싶은데 난감합니다. >AFM으로 봐야 할까요? > >아무튼 답변 부탁드립니다.
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    권혁순님의 답변

    >TMA를 ALD 방법으로 Al2O3 필름을 만들고 있습니다. > >SEM 으로 plan view 를 볼때 아무것도 안보입니다. >Pt로 코팅을 해봐도 pt만 보입니다. >원래 안보이나요? 그 이유를 알고 싶습니다. > >일단 눈으로는 막이 올라간것이 확실히 보입니다. >(색 변화) > >단면을 봐도 잘 안보이는데 ..... >홀 패턴 기판에 증착을 하면 보이는거 같네요.... > >Al2O3 두께를 구하고 싶은데 난감합니다. >AFM으로 봐야 할까요? > >아무튼 답변 부탁드립니다. Al2O3가 비정질일 가능성이 높습니다. 그러므로 일단 부도체일 거구요.. SEM은 전자로 주사한 후 이차 전자를 이용하여 이미지를 보는 것이기 때문에 샘플이 부도체일 경우 표면에 charing이 되면 아무것도 보이지 않습니다. 그렇기 때문에 Pt와 같은 금속을 coating을 하는 것입니다. 그리고 ALD 필름에 단차가 없다면 그 위에 Pt를 코팅해도 구분이 되지 않을 겁니다. 두께를 아시고자 한다면, 예상하는 두께가 얼마인지에 따라 다릅니다. um 단위라면 a-step이라는 두께 장비를 이용해도 충분할 것이고 옹스트롱 단위 정도라면 TEM방식이 훨씬 유리 할 것입니다. 또한 SEM으로 단면을 봐도 수천 나노 미터 정도는 충분히 볼 수 있을 것이라 생각됩니다.
    >TMA를 ALD 방법으로 Al2O3 필름을 만들고 있습니다. > >SEM 으로 plan view 를 볼때 아무것도 안보입니다. >Pt로 코팅을 해봐도 pt만 보입니다. >원래 안보이나요? 그 이유를 알고 싶습니다. > >일단 눈으로는 막이 올라간것이 확실히 보입니다. >(색 변화) > >단면을 봐도 잘 안보이는데 ..... >홀 패턴 기판에 증착을 하면 보이는거 같네요.... > >Al2O3 두께를 구하고 싶은데 난감합니다. >AFM으로 봐야 할까요? > >아무튼 답변 부탁드립니다. Al2O3가 비정질일 가능성이 높습니다. 그러므로 일단 부도체일 거구요.. SEM은 전자로 주사한 후 이차 전자를 이용하여 이미지를 보는 것이기 때문에 샘플이 부도체일 경우 표면에 charing이 되면 아무것도 보이지 않습니다. 그렇기 때문에 Pt와 같은 금속을 coating을 하는 것입니다. 그리고 ALD 필름에 단차가 없다면 그 위에 Pt를 코팅해도 구분이 되지 않을 겁니다. 두께를 아시고자 한다면, 예상하는 두께가 얼마인지에 따라 다릅니다. um 단위라면 a-step이라는 두께 장비를 이용해도 충분할 것이고 옹스트롱 단위 정도라면 TEM방식이 훨씬 유리 할 것입니다. 또한 SEM으로 단면을 봐도 수천 나노 미터 정도는 충분히 볼 수 있을 것이라 생각됩니다.
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    이원희님의 답변

    일단 눈에 보일 정도라고 이야기 했습니다. 두께는 20nm 정도 샘플도 있고 120nm정도 되는 샘플도 있습니다. 물론 엘립소로 측정을 해봤구요.. 엘립소는 측정 가능합니다. 제가 말한 SEM 은 FE-SEM 이구요 물론 Al2O3 가 비정질입니다. 두께를 알기위해 크로스 보는거고요...트렌치나 홀패턴에 증착이 잘 되는지 보고 싶은거고요... 플랜은 그냥 표면을 보고 싶어서 본 다는 것입니다. 눈으로는 색 변화가 확실히 보이는데 SEM으로 봤을시 그레인등이 안보여서요~ 답글중에 표면에 매끄러워서 그렇다고 하셨는데 저도 그래서 인가 생각 해 보았습니다. 다른 논문들 사진보면 잘 보이던데 ....제가 보면 잘 안보여서요 ㅠㅠ 답변 많이 달아주시니 제가 힘이납니다 ..하하하하 좋은 말씀 너무 감사하고 더 이야기 해주실분은 부탁드립니다.
    일단 눈에 보일 정도라고 이야기 했습니다. 두께는 20nm 정도 샘플도 있고 120nm정도 되는 샘플도 있습니다. 물론 엘립소로 측정을 해봤구요.. 엘립소는 측정 가능합니다. 제가 말한 SEM 은 FE-SEM 이구요 물론 Al2O3 가 비정질입니다. 두께를 알기위해 크로스 보는거고요...트렌치나 홀패턴에 증착이 잘 되는지 보고 싶은거고요... 플랜은 그냥 표면을 보고 싶어서 본 다는 것입니다. 눈으로는 색 변화가 확실히 보이는데 SEM으로 봤을시 그레인등이 안보여서요~ 답글중에 표면에 매끄러워서 그렇다고 하셨는데 저도 그래서 인가 생각 해 보았습니다. 다른 논문들 사진보면 잘 보이던데 ....제가 보면 잘 안보여서요 ㅠㅠ 답변 많이 달아주시니 제가 힘이납니다 ..하하하하 좋은 말씀 너무 감사하고 더 이야기 해주실분은 부탁드립니다.
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    손삼익님의 답변

    SEM으로 두께를 구하고 싶으시다면 plane view가 아닌 cross section view를 보셔야 합니다. 두께가 10nm 이하의 경우에는 TEM을 사용하시는 것이 좋습니다. image를 얻지 않고도 XRR, Ellipsometry 등의 방법으로 두께를 구 할 수가 있습니다. AFM으로 두께를 보시려면 증착 전에 기판 일부부을 살짝 가려 기판 높이의 기준점을 잡으시길 바랍니다.
    SEM으로 두께를 구하고 싶으시다면 plane view가 아닌 cross section view를 보셔야 합니다. 두께가 10nm 이하의 경우에는 TEM을 사용하시는 것이 좋습니다. image를 얻지 않고도 XRR, Ellipsometry 등의 방법으로 두께를 구 할 수가 있습니다. AFM으로 두께를 보시려면 증착 전에 기판 일부부을 살짝 가려 기판 높이의 기준점을 잡으시길 바랍니다.
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    송준희님의 답변

    일단 오류의 가능성을 점검해보세요. 측정 단면을 잘 연마했는지, 코팅(코팅재를 바꿔보든지 아님 코팅조건 확인)이 제대로 됐는지, 코팅면과 트레이 사이가 도전이 안됐다든지, 등등을 면밀히 재검토 해보세요.. 알루미나의 경우 SEM 관찰이 그다지 어렵지 않습니다. 혹시 주변이나 여건상 가능하다면 FE-SEM을 추천합니다. >TMA를 ALD 방법으로 Al2O3 필름을 만들고 있습니다. > >SEM 으로 plan view 를 볼때 아무것도 안보입니다. >Pt로 코팅을 해봐도 pt만 보입니다. >원래 안보이나요? 그 이유를 알고 싶습니다. > >일단 눈으로는 막이 올라간것이 확실히 보입니다. >(색 변화) > >단면을 봐도 잘 안보이는데 ..... >홀 패턴 기판에 증착을 하면 보이는거 같네요.... > >Al2O3 두께를 구하고 싶은데 난감합니다. >AFM으로 봐야 할까요?
    일단 오류의 가능성을 점검해보세요. 측정 단면을 잘 연마했는지, 코팅(코팅재를 바꿔보든지 아님 코팅조건 확인)이 제대로 됐는지, 코팅면과 트레이 사이가 도전이 안됐다든지, 등등을 면밀히 재검토 해보세요.. 알루미나의 경우 SEM 관찰이 그다지 어렵지 않습니다. 혹시 주변이나 여건상 가능하다면 FE-SEM을 추천합니다. >TMA를 ALD 방법으로 Al2O3 필름을 만들고 있습니다. > >SEM 으로 plan view 를 볼때 아무것도 안보입니다. >Pt로 코팅을 해봐도 pt만 보입니다. >원래 안보이나요? 그 이유를 알고 싶습니다. > >일단 눈으로는 막이 올라간것이 확실히 보입니다. >(색 변화) > >단면을 봐도 잘 안보이는데 ..... >홀 패턴 기판에 증착을 하면 보이는거 같네요.... > >Al2O3 두께를 구하고 싶은데 난감합니다. >AFM으로 봐야 할까요?
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    이영국님의 답변

    >TMA를 ALD 방법으로 Al2O3 필름을 만들고 있습니다. > >SEM 으로 plan view 를 볼때 아무것도 안보입니다. >Pt로 코팅을 해봐도 pt만 보입니다. >원래 안보이나요? 그 이유를 알고 싶습니다. > >일단 눈으로는 막이 올라간것이 확실히 보입니다. >(색 변화) > >단면을 봐도 잘 안보이는데 ..... >홀 패턴 기판에 증착을 하면 보이는거 같네요.... > >Al2O3 두께를 구하고 싶은데 난감합니다. >AFM으로 봐야 할까요? > >아무튼 답변 부탁드립니다. 막 두께에 관하여 대략적인 정보도 없으니 고수들의 정확한 답변을 얻기 어려우실 것 같습니다. 일단 ALD로 하셨다니 막 두께는 수~수십 나노일 것 같네요. 이정도 두께는 SEM으로 보기 힘듭니다. FE-SEM (Field Emission SEM)으로 가능하긴 한데 숙련된 오퍼레이터이어야 합니다. 물론 plan view 보다는 cross section으로 보셔야 하고요. plan view로 안 보이는 이유는 ALD로 박막을 증착하면 표면이 너무 매끈하고 grain들이 없어(비정질이기 때문에) 상을 맺기가 힘들기 때문입니다. 정확한 두께는 TEM으로 가능한데 비용이나 시간이 문제라면 ellipsometer로 측정하는게 좋을 듯 합니다.
    >TMA를 ALD 방법으로 Al2O3 필름을 만들고 있습니다. > >SEM 으로 plan view 를 볼때 아무것도 안보입니다. >Pt로 코팅을 해봐도 pt만 보입니다. >원래 안보이나요? 그 이유를 알고 싶습니다. > >일단 눈으로는 막이 올라간것이 확실히 보입니다. >(색 변화) > >단면을 봐도 잘 안보이는데 ..... >홀 패턴 기판에 증착을 하면 보이는거 같네요.... > >Al2O3 두께를 구하고 싶은데 난감합니다. >AFM으로 봐야 할까요? > >아무튼 답변 부탁드립니다. 막 두께에 관하여 대략적인 정보도 없으니 고수들의 정확한 답변을 얻기 어려우실 것 같습니다. 일단 ALD로 하셨다니 막 두께는 수~수십 나노일 것 같네요. 이정도 두께는 SEM으로 보기 힘듭니다. FE-SEM (Field Emission SEM)으로 가능하긴 한데 숙련된 오퍼레이터이어야 합니다. 물론 plan view 보다는 cross section으로 보셔야 하고요. plan view로 안 보이는 이유는 ALD로 박막을 증착하면 표면이 너무 매끈하고 grain들이 없어(비정질이기 때문에) 상을 맺기가 힘들기 때문입니다. 정확한 두께는 TEM으로 가능한데 비용이나 시간이 문제라면 ellipsometer로 측정하는게 좋을 듯 합니다.
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    김도형님의 답변

    괜찮으시다면 찍으셨다는 SEM 사진 보내주실 수 있으신가요? 위에서 말씀드렸듯이 이미지 컨트롤을 잘 하면 보이는 경우도 있는데... 사진을 보내주실 요량이시면 제 메일로 보내주세요. 한 번 확인해보겠습니다. >TMA를 ALD 방법으로 Al2O3 필름을 만들고 있습니다. > >SEM 으로 plan view 를 볼때 아무것도 안보입니다. >Pt로 코팅을 해봐도 pt만 보입니다. >원래 안보이나요? 그 이유를 알고 싶습니다. > >일단 눈으로는 막이 올라간것이 확실히 보입니다. >(색 변화) > >단면을 봐도 잘 안보이는데 ..... >홀 패턴 기판에 증착을 하면 보이는거 같네요.... > >Al2O3 두께를 구하고 싶은데 난감합니다. >AFM으로 봐야 할까요? > >아무튼 답변 부탁드립니다.
    괜찮으시다면 찍으셨다는 SEM 사진 보내주실 수 있으신가요? 위에서 말씀드렸듯이 이미지 컨트롤을 잘 하면 보이는 경우도 있는데... 사진을 보내주실 요량이시면 제 메일로 보내주세요. 한 번 확인해보겠습니다. >TMA를 ALD 방법으로 Al2O3 필름을 만들고 있습니다. > >SEM 으로 plan view 를 볼때 아무것도 안보입니다. >Pt로 코팅을 해봐도 pt만 보입니다. >원래 안보이나요? 그 이유를 알고 싶습니다. > >일단 눈으로는 막이 올라간것이 확실히 보입니다. >(색 변화) > >단면을 봐도 잘 안보이는데 ..... >홀 패턴 기판에 증착을 하면 보이는거 같네요.... > >Al2O3 두께를 구하고 싶은데 난감합니다. >AFM으로 봐야 할까요? > >아무튼 답변 부탁드립니다.
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    이원희님의 답변

    sem 으로 안보였어서 찍은 사진이 없네요~ 말씀만 들어도 감사합니다.^^
    sem 으로 안보였어서 찍은 사진이 없네요~ 말씀만 들어도 감사합니다.^^
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