2007-10-24
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이원희(love212331)
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TMA를 ALD 방법으로 Al2O3 필름을 만들고 있습니다.
SEM 으로 plan view 를 볼때 아무것도 안보입니다.
Pt로 코팅을 해봐도 pt만 보입니다.
원래 안보이나요? 그 이유를 알고 싶습니다.
일단 눈으로는 막이 올라간것이 확실히 보입니다.
(색 변화)
단면을 봐도 잘 안보이는데 .....
홀 패턴 기판에 증착을 하면 보이는거 같네요....
Al2O3 두께를 구하고 싶은데 난감합니다.
AFM으로 봐야 할까요?
아무튼 답변 부탁드립니다.
- Al2O3
- SEM
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답변 8
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답변
김도형님의 답변
2007-10-24- 0
기판의 종류 및 Al2O3의 예상 두께가 얼마나 되는지요. 혹시 너무 얇아 SEM이 아닌 TEM으로 보아야 하는 영역은 아닌지... 아니면 기판과 잘 구별이 되지 않는 문제라면 포토숍같은 그림 편집 프로그램에서 contrast 조절을 하면 구분이 되는 경우도 많습니다. 그것이 아니라 너무 얇아서 SEM으로 구별하기 어려운 영역이라면 TEM으로 보시던지 ellipsometer 를 이용하여 두께를 확인하는 것도 한 방법일 것입니다. >TMA를 ALD 방법으로 Al2O3 필름을 만들고 있습니다. > >SEM 으로 plan view 를 볼때 아무것도 안보입니다. >Pt로 코팅을 해봐도 pt만 보입니다. >원래 안보이나요? 그 이유를 알고 싶습니다. > >일단 눈으로는 막이 올라간것이 확실히 보입니다. >(색 변화) > >단면을 봐도 잘 안보이는데 ..... >홀 패턴 기판에 증착을 하면 보이는거 같네요.... > >Al2O3 두께를 구하고 싶은데 난감합니다. >AFM으로 봐야 할까요? > >아무튼 답변 부탁드립니다. -
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권혁순님의 답변
2007-10-24- 0
>TMA를 ALD 방법으로 Al2O3 필름을 만들고 있습니다. > >SEM 으로 plan view 를 볼때 아무것도 안보입니다. >Pt로 코팅을 해봐도 pt만 보입니다. >원래 안보이나요? 그 이유를 알고 싶습니다. > >일단 눈으로는 막이 올라간것이 확실히 보입니다. >(색 변화) > >단면을 봐도 잘 안보이는데 ..... >홀 패턴 기판에 증착을 하면 보이는거 같네요.... > >Al2O3 두께를 구하고 싶은데 난감합니다. >AFM으로 봐야 할까요? > >아무튼 답변 부탁드립니다. Al2O3가 비정질일 가능성이 높습니다. 그러므로 일단 부도체일 거구요.. SEM은 전자로 주사한 후 이차 전자를 이용하여 이미지를 보는 것이기 때문에 샘플이 부도체일 경우 표면에 charing이 되면 아무것도 보이지 않습니다. 그렇기 때문에 Pt와 같은 금속을 coating을 하는 것입니다. 그리고 ALD 필름에 단차가 없다면 그 위에 Pt를 코팅해도 구분이 되지 않을 겁니다. 두께를 아시고자 한다면, 예상하는 두께가 얼마인지에 따라 다릅니다. um 단위라면 a-step이라는 두께 장비를 이용해도 충분할 것이고 옹스트롱 단위 정도라면 TEM방식이 훨씬 유리 할 것입니다. 또한 SEM으로 단면을 봐도 수천 나노 미터 정도는 충분히 볼 수 있을 것이라 생각됩니다. -
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이원희님의 답변
2007-10-25- 0
일단 눈에 보일 정도라고 이야기 했습니다. 두께는 20nm 정도 샘플도 있고 120nm정도 되는 샘플도 있습니다. 물론 엘립소로 측정을 해봤구요.. 엘립소는 측정 가능합니다. 제가 말한 SEM 은 FE-SEM 이구요 물론 Al2O3 가 비정질입니다. 두께를 알기위해 크로스 보는거고요...트렌치나 홀패턴에 증착이 잘 되는지 보고 싶은거고요... 플랜은 그냥 표면을 보고 싶어서 본 다는 것입니다. 눈으로는 색 변화가 확실히 보이는데 SEM으로 봤을시 그레인등이 안보여서요~ 답글중에 표면에 매끄러워서 그렇다고 하셨는데 저도 그래서 인가 생각 해 보았습니다. 다른 논문들 사진보면 잘 보이던데 ....제가 보면 잘 안보여서요 ㅠㅠ 답변 많이 달아주시니 제가 힘이납니다 ..하하하하 좋은 말씀 너무 감사하고 더 이야기 해주실분은 부탁드립니다. -
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손삼익님의 답변
2007-10-25- 0
SEM으로 두께를 구하고 싶으시다면 plane view가 아닌 cross section view를 보셔야 합니다. 두께가 10nm 이하의 경우에는 TEM을 사용하시는 것이 좋습니다. image를 얻지 않고도 XRR, Ellipsometry 등의 방법으로 두께를 구 할 수가 있습니다. AFM으로 두께를 보시려면 증착 전에 기판 일부부을 살짝 가려 기판 높이의 기준점을 잡으시길 바랍니다. -
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송준희님의 답변
2007-10-25- 0
일단 오류의 가능성을 점검해보세요. 측정 단면을 잘 연마했는지, 코팅(코팅재를 바꿔보든지 아님 코팅조건 확인)이 제대로 됐는지, 코팅면과 트레이 사이가 도전이 안됐다든지, 등등을 면밀히 재검토 해보세요.. 알루미나의 경우 SEM 관찰이 그다지 어렵지 않습니다. 혹시 주변이나 여건상 가능하다면 FE-SEM을 추천합니다. >TMA를 ALD 방법으로 Al2O3 필름을 만들고 있습니다. > >SEM 으로 plan view 를 볼때 아무것도 안보입니다. >Pt로 코팅을 해봐도 pt만 보입니다. >원래 안보이나요? 그 이유를 알고 싶습니다. > >일단 눈으로는 막이 올라간것이 확실히 보입니다. >(색 변화) > >단면을 봐도 잘 안보이는데 ..... >홀 패턴 기판에 증착을 하면 보이는거 같네요.... > >Al2O3 두께를 구하고 싶은데 난감합니다. >AFM으로 봐야 할까요? -
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이영국님의 답변
2007-10-25- 0
>TMA를 ALD 방법으로 Al2O3 필름을 만들고 있습니다. > >SEM 으로 plan view 를 볼때 아무것도 안보입니다. >Pt로 코팅을 해봐도 pt만 보입니다. >원래 안보이나요? 그 이유를 알고 싶습니다. > >일단 눈으로는 막이 올라간것이 확실히 보입니다. >(색 변화) > >단면을 봐도 잘 안보이는데 ..... >홀 패턴 기판에 증착을 하면 보이는거 같네요.... > >Al2O3 두께를 구하고 싶은데 난감합니다. >AFM으로 봐야 할까요? > >아무튼 답변 부탁드립니다. 막 두께에 관하여 대략적인 정보도 없으니 고수들의 정확한 답변을 얻기 어려우실 것 같습니다. 일단 ALD로 하셨다니 막 두께는 수~수십 나노일 것 같네요. 이정도 두께는 SEM으로 보기 힘듭니다. FE-SEM (Field Emission SEM)으로 가능하긴 한데 숙련된 오퍼레이터이어야 합니다. 물론 plan view 보다는 cross section으로 보셔야 하고요. plan view로 안 보이는 이유는 ALD로 박막을 증착하면 표면이 너무 매끈하고 grain들이 없어(비정질이기 때문에) 상을 맺기가 힘들기 때문입니다. 정확한 두께는 TEM으로 가능한데 비용이나 시간이 문제라면 ellipsometer로 측정하는게 좋을 듯 합니다. -
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김도형님의 답변
2007-10-26- 0
괜찮으시다면 찍으셨다는 SEM 사진 보내주실 수 있으신가요? 위에서 말씀드렸듯이 이미지 컨트롤을 잘 하면 보이는 경우도 있는데... 사진을 보내주실 요량이시면 제 메일로 보내주세요. 한 번 확인해보겠습니다. >TMA를 ALD 방법으로 Al2O3 필름을 만들고 있습니다. > >SEM 으로 plan view 를 볼때 아무것도 안보입니다. >Pt로 코팅을 해봐도 pt만 보입니다. >원래 안보이나요? 그 이유를 알고 싶습니다. > >일단 눈으로는 막이 올라간것이 확실히 보입니다. >(색 변화) > >단면을 봐도 잘 안보이는데 ..... >홀 패턴 기판에 증착을 하면 보이는거 같네요.... > >Al2O3 두께를 구하고 싶은데 난감합니다. >AFM으로 봐야 할까요? > >아무튼 답변 부탁드립니다. -
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이원희님의 답변
2007-10-29- 0
sem 으로 안보였어서 찍은 사진이 없네요~ 말씀만 들어도 감사합니다.^^