2007-11-02
org.kosen.entty.User@13759121
강은구(river09)
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전자빔을 이용하여 롤표면에 리소공정을 수행할려고 하고 있습니다.
웨이퍼의 경우 Spin Coater를 이용하는데, 만약 롤형상의 원주면에
PR을 50-100nm 두께로 도포할려고 하면, 어떻게 진행해야 할지 좋은
아이디어가 떠오르지 않습니다.
혹시 방법이나 업체 또는 전문가 등에 대해 소개해주시면 감사하겠습니다.
그럼 항상 좋은 일 가득하세요.
- Roll
- PR
- Coating
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
bukim님의 답변
2007-11-02- 0
롤코팅기법을 변형하시어 사용하시면 될듯합니다. Photoresist를 롤코팅에 맞게 용제나 계면활성제를 변형하여 사용하신다면 가능성이 있다고 생각합니다. 일반적인 롤코팅PR이나 코팅용 잉크[광경화형]는 경험이 있습니다만 이 경우에는 좀다른 개념이라서 확답은 드리기 어렵지만 불가능하지는 않다고 봅니다. 간이도포장치를 고안하시어 그에 부합하는 재료를 사용하신다면 가능할 것으로 봅니다. 좀더 궁금하신점이 있다면 biugy.kim@gamil.com으로 메일주십시오 >전자빔을 이용하여 롤표면에 리소공정을 수행할려고 하고 있습니다. >웨이퍼의 경우 Spin Coater를 이용하는데, 만약 롤형상의 원주면에 >PR을 50-100nm 두께로 도포할려고 하면, 어떻게 진행해야 할지 좋은 >아이디어가 떠오르지 않습니다. >혹시 방법이나 업체 또는 전문가 등에 대해 소개해주시면 감사하겠습니다. >그럼 항상 좋은 일 가득하세요.