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지식나눔

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CrP???

2007-11-02 org.kosen.entty.User@329edc26 김형섭(gtool77)
  • 1
반도체 공정에서 사용되는 sus재질의 가스이송관이 부식성 가스로 인해서 문제가 된다고 알고 있습니다. 이런 문제점을 해결하기 위해서 sus재질의 가스관에 CrP(chromium-rich oxide passivation) tubing을 해준다고 하는데요. CrP tubing이 뭔가요? 그리고 CrP 층을 만드려면 어떻게 하는지 궁금합니다.
  • semiconductor
  • CrP
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답변 1
  • 답변

    안길홍님의 답변

    2007-11-02
    • 2
    CrP pipe처리는 간단합니다.단지 화학품을 사용하기 때문에 사람이 작업하기에는 기피작업이며,환경문제에 세심한 주의를 요합니다. SUS에는 녹발생을 막기위하여 Cr이 들어 있습니다.이를 passivation처리 하는 것입니다. (1)20~50% 질산 (20~50C,20분~2시간처리) ------>(2)4~10% citric acid + 2% EDTA (80C,10시간 처리) 이상입니다. Cr의 함량에 따라 위의 산의량을 조절합니다. site를 참고하세요. [어떠 물질을 사전에 한번 어떤 특수한 환경하에서 경험하도록하면 그에대한 내성이 생긴다는 원리입니다.예를들어 도자기를 만들때 가열처리하는데 그제품은 내열성이 생기며,철을 가열열처리하면 열에내열성이 생기며,SUS를 온도가 있는 산에 처리하면 부식성산에 내식성이 생기게 되며,반도체coating에서 가열처리하게되면 내열성이 높아지는 것과 같습니다]
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    CrP pipe처리는 간단합니다.단지 화학품을 사용하기 때문에 사람이 작업하기에는 기피작업이며,환경문제에 세심한 주의를 요합니다. SUS에는 녹발생을 막기위하여 Cr이 들어 있습니다.이를 passivation처리 하는 것입니다. (1)20~50% 질산 (20~50C,20분~2시간처리) ------>(2)4~10% citric acid + 2% EDTA (80C,10시간 처리) 이상입니다. Cr의 함량에 따라 위의 산의량을 조절합니다. site를 참고하세요. [어떠 물질을 사전에 한번 어떤 특수한 환경하에서 경험하도록하면 그에대한 내성이 생긴다는 원리입니다.예를들어 도자기를 만들때 가열처리하는데 그제품은 내열성이 생기며,철을 가열열처리하면 열에내열성이 생기며,SUS를 온도가 있는 산에 처리하면 부식성산에 내식성이 생기게 되며,반도체coating에서 가열처리하게되면 내열성이 높아지는 것과 같습니다]
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