2007-11-05
org.kosen.entty.User@5d3af8ac
이명수(myongsoo2)
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제가
LCR 미터로 conductance method 를 이용한
interface state Dit를 측정 하려는데
측정 방법을 잘 모르겠습니다.
일반 전압에 따른 Cp값은 많이 측정 해서 알겠는데
frequency값에 따른 Cp값을 측정하여 interface state를 측정 하여야 하는데
잘 모르겠습니다
어떻게 해야되는지 알려주세요~~~^^
- conductance method
- interface state
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 3
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답변
안길홍님의 답변
2007-11-06- 0
주파수에 따른 L(μH),C(μF),R(MΩ)을 측정할려면 적합한 meter기를 갖추어야 할텐데요. 그리고 주파수(예를들어 100Hz,1KHz,10KHz,100KHz등)에 따라 각각의 LCR의 특성이 달라지기 때문에 이에따른 주파수 발생장치가 동시에 갖추어져야 측정이 가능합니다. 요즈음은 측정장치가 워낙 좋아서 LCR meter에 의한 측정은 장치만 갖추어져 있다면, 이에따른 manual에 의하여 측정하고자 하는 시료를 시료대에 거치하면 측정결과치는 자동으로 내장 software에 의하여 computerizing되어서 출력이 됩니다. 특별히 무엇이 필요한 것은 아닙니다. 참고로 주파수 및 이에따른 LCR meter의 manual을 file로 올립니다.참고하시기를... -
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권혁순님의 답변
2007-11-06- 0
>제가 > >LCR 미터로 conductance method 를 이용한 > >interface state Dit를 측정 하려는데 > >측정 방법을 잘 모르겠습니다. > >일반 전압에 따른 Cp값은 많이 측정 해서 알겠는데 > >frequency값에 따른 Cp값을 측정하여 interface state를 측정 하여야 하는데 > >잘 모르겠습니다 > >어떻게 해야되는지 알려주세요~~~^^ 제가 책을 소개해 드릴테니 찾아서 보시기 바랍니다. 제목 : Metal Oxide Semiconductor Physics and Technology 저자 : E.H NICOLLIAN , J.R.BREWS 출판사 : A wiley - interscience publication -
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안길홍님의 답변
2007-11-07- 0
LCR meter에서는 공진회로를 응용하는데 (1)직렬공진:LCR직렬회로에서 주파수f를 변화시켜가면,전류 I가 최대로 되는 시점이 나옵니다.이상태를 직렬공진이라 하고, 이때의 주파수 fr을 공진주파수라고 합니다. (2)병렬공진:LCR병렬회로에서 주파수 f를 변화시켜가면, 전류I가 최소로 되는 시점이 나옵니다. 이 상태를 병렬공진이라 하고,이때의 주파수 fr을 공진주파수라고 합니다. 이상의 회로를 응용하여 LCR를 측정하게 되는 것입니다. 반도체 및 소자에 대하여 공부하시는 분에게 공진회로의 개념은 상당히 중요한 부분이므로 이에 대한 회로 및 수식에 대하여 참고file로 올립니다.