2007-12-06
org.kosen.entty.User@2953d31b
양철규(sprtmWKd)
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박막 증착시 사용되는 Sputter 장비에 대해 질문이 있습니다.
Internet에서 Sputter 장비를 찾다가 DC-RF Coupled Sputter에 대한 이야기가
있어서 질문 드립니다.
먼저 DC-RF Coupled Sputter 가 Co-Sputter를 말하는건지?
아니면, DC Sputter에 RF Coil을 이용하여, 타겟과 기판사이에 RF을 걸어주는
방식인지?
이로 인해, 어떤 이점이 있는지 알고 싶습니다.
예를 들어) 박막의 Denstiy 관점? 박막의 Grain Size 변화?
또한 관련 자료가 있으면 같이 올려주시면 감사하겠습니다.
- DC Sputter
- RF Sputter
- DC-RF Coupled Sputter
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
안길홍님의 답변
2007-12-06- 0
DC-RF sputter란 전원으로 Impulsed DC를 사용하고 이에 더하여 고주파(Radio frequency)를 동시에 걸어 준다는 것입니다. 고주파를 같이 사용하게되면 낮은 전압에서 방전이 쉽게 일어날 수있는 장점이 있습니다.그리고 방전시의 온도가 높지 않다는 특징이 있습니다. 이때의 주파수는 13.56MHz가 많이 사용됩니다.