2007-12-12
org.kosen.entty.User@3e0fa640
하정민(nextan)
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wafer 표면 상태를 분석을 할려고 합니다.
SIMS분석을 통해서 확인을 해보고 싶습니다.
국내에 SIMS 분석을 할수 있는 곳이 있는지요?
외부 의뢰를 받으면서 분석까지 다 해줄 수 있는 곳을
알려주시면 고맙겠습니다.
분석의 내용은
wafer를 etching 한 후 그 etch 된 부분의 표면분석이
목적입니다.
- SIMS
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 2
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답변
정석균님의 답변
2007-12-12- 0
ETRI 또는 기초과학지원연구원에 의뢰할 수 있습니다. 기초과학연구원은 연구원 자체에서 하고 있으니 웹사이트에 들어가서 찾아보시고, ETRI는 외부 위탁기업에서 운영하고 있습니다. 042-860-5234로 연락을... 제가 아는 번호는 이 번호 밖에 없어서. -
답변
황병철님의 답변
2007-12-17- 0
> wafer 표면 상태를 분석을 할려고 합니다. > > SIMS분석을 통해서 확인을 해보고 싶습니다. > > 국내에 SIMS 분석을 할수 있는 곳이 있는지요? > > 외부 의뢰를 받으면서 분석까지 다 해줄 수 있는 곳을 > > 알려주시면 고맙겠습니다. > > 분석의 내용은 > > wafer를 etching 한 후 그 etch 된 부분의 표면분석이 > > 목적입니다. > > 포항산업과학연구원에서 외부 의뢰를 받아서 많이 진행하고 있습니다. 모델은 CAMECA IMS-6F입니다. 그리고, 부산대 내에 있는 기초과학지원연구소에서도 같은 장비로 분석을 지원해 주는 걸로 알고 있습니다.