2007-12-21
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이동엽(ccaryman)
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안녕하세요..
저는 ITO 박막에 관해 연구하고 있는 학생입니다..
최근에 논문을 읽다가
표면 거칠기를 아는 방법에는 제목에서 처럼 여러가지가 있는 것으로 알고 있습니다.
보통은 Ra가 많이 쓰인 것으로 아는데
최근들어 Rrms, Rp-v가 많이 쓰이는 것으로 알고 있습니다.
AFM을 통해서 Ra 값만을 알았는데
Rp-v도 있더군요
그런데 Rrms는 없던데...따로 구해야 하는 건가요?
그리고 Ra, Rrms, Rp-v 가 구해지는 법을 알고 싶습니다.
특히 기준선을 어떤식으로 측정하고 정해서
Ra와 Rrms, Rp-v 값을 구하는지 자세히 알고 싶습니다...
부디 도와주세요~ ^^
- surface morphology
- surface roughness
- Ra
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답변 2
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답변
김기범님의 답변
2007-12-21- 0
>안녕하세요.. >저는 ITO 박막에 관해 연구하고 있는 학생입니다.. >최근에 논문을 읽다가 >표면 거칠기를 아는 방법에는 제목에서 처럼 여러가지가 있는 것으로 알고 있습니다. >보통은 Ra가 많이 쓰인 것으로 아는데 >최근들어 Rrms, Rp-v가 많이 쓰이는 것으로 알고 있습니다. >AFM을 통해서 Ra 값만을 알았는데 >Rp-v도 있더군요 >그런데 Rrms는 없던데...따로 구해야 하는 건가요? > >그리고 Ra, Rrms, Rp-v 가 구해지는 법을 알고 싶습니다. >특히 기준선을 어떤식으로 측정하고 정해서 >Ra와 Rrms, Rp-v 값을 구하는지 자세히 알고 싶습니다... > >부디 도와주세요~ ^^ 지금 말씀하신 논문이 아마 “Criteria for ITO(Indium- Tin - Oxide) Thin Film as the Bottom Electrode of Organic Light Emitting Diode”, Thin Solid Films, Vol. 411, No. 1 p.12-16 (2002) 가 아닐까 싶은데 아직도 이렇기 읽혀지고 있다고 생각하니 감개가 무량합니다. ^^ Ra, Rrms, Rp-v 의 정의는 논문에 설명이 되어 있고요 AFM 측정 결과에 이 세 가지의 측정치가 다 표시가 됩니다. 장비 메이커에 따라 다를 수도 있겠습니다만 제가 써본 경험이 있는 PSI, Veeco, Seiko사의 장비에는 세가지 항목의 결과치가 다 표시가 되었던 것으로 기억하고 있습니다. 기타 궁금하신점이 있으시면 연락주십시요. -
답변
안길홍님의 답변
2007-12-21- 0
Ra가 구해졌으면 Rrms는 첨부file과 같이 계산 할수 있습니다. 그리고 Rp-v는 peak-to-valley로써 조금다른 측정에 의하여 구하여 집니다. 측정에 대한 개요 및 기준선에 대하여 첨부file을 참고바랍니다. 그리고 요즈음은 측정장비로써 즉시 계산되어져 나옵니다. google.com에서 “surface roughness measurement“로 검색하면 다수의 장비 를 찾을 수 있습니다. 이에서 manual을 down받아서 참고하여도 됩니다.