2007-12-26
org.kosen.entty.User@57264c2a
안균(ank0311)
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안녕하세요~
제가 sputter로 실험을 하다 문의점이 생겨 글을 씁니다.
AZO 새 target으로 교체 후 대략 10시간 넘게 프리스퍼터를 했는데....
그 이후로 target 교체 전 실험조건...
예를 들어 Ar 30sccm RF power 200으로 AZO를 증착하면
저항이 대략 150옴 정도 나왔었는데...
엄청나게 긴 시간 프리스퍼터링 후
위와 같은 조건으로 실험시 저항값이 1.2킬로옴이 나오는데....
어떻게 된걸까요??
많은 프리스퍼터링으로 인해 챔버내에 AZO가 많이 달라붙어서 그런건지....
어떻게 해야할지 조언부탁드립니다.
- sputter
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답변 1
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답변
윤선님의 답변
2007-12-26- 0
프로세스 진공도가 궁금하네요 예전과 현재 진공도를 비교해 보시고 같다면... Target purity 문제가 아닐까요?? 천천히 하나하나 짚어보세요.