KOSEN 한인과학기술자네트워크

닫기

더 많은 혜택을 위해
로그인 하세요.

지식나눔

지식나눔

annealing 온도에 따른 ITO 박막 특성

2007-12-28 org.kosen.entty.User@610e82c7 권혁순(max7865)
  • 1
제목 그래도 annealing 온도에 따른 ITO 박막 특성 (특히 전도도,투과율)에 대해 아시는 분이나 자료 있으신 분 도움 부탁드립니다.
  • ITO
  • annealing temperature
지식의 출발은 질문, 모든 지식의 완성은 답변! 
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
답변하기
답변 1
  • 답변

    안길홍님의 답변

    2007-12-28
    • 0

    첨부파일

    ITO박막의 특성을 좌우하는 요소는 여러가지를 고려할 수 있습니다. ITO thin film의 thickness,chamber내의 진공도(압력),사용기체(N2 or H2),사용power의 종류, ITO thin film coating method, ITO의 조성 등 여러가지가 고려되어야 하나 이에 대한 참고자료를 올려드리겠습니다. 참고하시기 바랍니다. 온도는 350~450C정도에서 비교적 좋은 결과가 나옵니다. 그리고 산소분압도 중요한 요소인데 약1.1mbar정도가 좋습니다.
    답변수정
    ITO박막의 특성을 좌우하는 요소는 여러가지를 고려할 수 있습니다. ITO thin film의 thickness,chamber내의 진공도(압력),사용기체(N2 or H2),사용power의 종류, ITO thin film coating method, ITO의 조성 등 여러가지가 고려되어야 하나 이에 대한 참고자료를 올려드리겠습니다. 참고하시기 바랍니다. 온도는 350~450C정도에서 비교적 좋은 결과가 나옵니다. 그리고 산소분압도 중요한 요소인데 약1.1mbar정도가 좋습니다.
    등록된 댓글이 없습니다.
목록
목록