지식나눔

감광제(photo resist)를 sem or fe-sem 두께 측정시 pt등으로 코팅 하지 않고 측정이 가능한가요?

오늘 세미나를 하였는데. PR을 SEM 또는 FE-SEM 으로 두께 측정시 pt, au, carbon 등의 코팅을 하지 않고도 두께를 측정 할 수 있다고 하는데 맞는 건가요? 제가 알기로는 PR은 절연물질이라 코팅을 하지 않고는 불가능 한걸로 알고 있는데 궁금합니다. 가르쳐 주세요~~~~~
  • pr 두께
  • sem
  • fe-sem
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답변 3
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    안길홍님의 답변

    반도체장비 전문기업이므로 세부적으로 세세한 내용을 설명하지 않겠습니다. 현대의 반도체관련 제조,측정등은 장비가 거의 대부분을 처리한다고 하여도 과언이 아닙니다. 결과를 말씀드리면 FESEM으로 측정할 수 있습니다. 참고자료file을 보아주시기 바랍니다.
    반도체장비 전문기업이므로 세부적으로 세세한 내용을 설명하지 않겠습니다. 현대의 반도체관련 제조,측정등은 장비가 거의 대부분을 처리한다고 하여도 과언이 아닙니다. 결과를 말씀드리면 FESEM으로 측정할 수 있습니다. 참고자료file을 보아주시기 바랍니다.
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    한진우님의 답변

    가능 하긴 할 것 같은데, 제 경험상으론 코팅 유무보다 PR 하부 막의 종류가 더 중요할 것 같습니다. PR과 하부 막의 경계가 확실하게 구분되는 물질이면 잘 보이겠죠. 물론 PR이 굉장히 두꺼우면 더 쉽게 구별이 되겠죠. 첨부파일 사진 정도로 두께 측정은 가능할 것 같네요. 장비를 더 잘 다루시는 분은 더 깨끗하게 찍으실 수도 있겠네요. >오늘 세미나를 하였는데. PR을 SEM 또는 FE-SEM 으로 두께 측정시 >pt, au, carbon 등의 코팅을 하지 않고도 두께를 측정 할 수 있다고 하는데 맞는 건가요? >제가 알기로는 PR은 절연물질이라 코팅을 하지 않고는 불가능 한걸로 알고 있는데 궁금합니다. 가르쳐 주세요~~~~~
    가능 하긴 할 것 같은데, 제 경험상으론 코팅 유무보다 PR 하부 막의 종류가 더 중요할 것 같습니다. PR과 하부 막의 경계가 확실하게 구분되는 물질이면 잘 보이겠죠. 물론 PR이 굉장히 두꺼우면 더 쉽게 구별이 되겠죠. 첨부파일 사진 정도로 두께 측정은 가능할 것 같네요. 장비를 더 잘 다루시는 분은 더 깨끗하게 찍으실 수도 있겠네요. >오늘 세미나를 하였는데. PR을 SEM 또는 FE-SEM 으로 두께 측정시 >pt, au, carbon 등의 코팅을 하지 않고도 두께를 측정 할 수 있다고 하는데 맞는 건가요? >제가 알기로는 PR은 절연물질이라 코팅을 하지 않고는 불가능 한걸로 알고 있는데 궁금합니다. 가르쳐 주세요~~~~~
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    유승열님의 답변

    electron 을 때려 전자 (즉, 이미지)가 원하는 만큼 안나오는 것 뿐이지 당연히 가능합니다. coating 없이 보려면 accelationg voltage를 높여야 하는데 pattern region에 charge damage 심하겠죠? 코팅하면 잘 보입니다. PR의 dominant 한 material인 carbon 보다 granule size가 적은 pt가 좋겠지만 gold coating이 무난하겠죠?
    electron 을 때려 전자 (즉, 이미지)가 원하는 만큼 안나오는 것 뿐이지 당연히 가능합니다. coating 없이 보려면 accelationg voltage를 높여야 하는데 pattern region에 charge damage 심하겠죠? 코팅하면 잘 보입니다. PR의 dominant 한 material인 carbon 보다 granule size가 적은 pt가 좋겠지만 gold coating이 무난하겠죠?
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