2008-01-08
org.kosen.entty.User@17ee82f5
박재경(espjk)
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반도체를 공부를 시작하는 학생입니다.
논문을 읽어보는 중인데 spike annealing이 있더군요
annealing은 알겠는데 spike annealing은 뭔가요?
그리고 spike annealing을 하는 방법은 어떻게 되나요?
- spike anneling
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
안길홍님의 답변
2008-01-09- 0
spike annealing 을 RTA(rapid thermal annealing)이라고도 합니다. 본내용은 반도체제조시 doping처리의 열처리에 관한 사항으로 조금 전문 지식이 필요한 사항인데요,학부생이면 개념정도만 알고 있으면 차후 반도체관련 회사에서 근무하게 된다면 lab.에서 접하게 될 때가 있을 것입니다. 반도체의 구조상 종전과 비교할 수 없을 정도로 작게(small),얇게(thin), 미세한 회로(nano-circuit)로 발전하고 있습니다. 종전의 micron단위에서 10~30nm단위(Ultra-shallow junction)로 이행되고 있습니다. 이러한 미세단위에서의 dopant를 열처리하는데는 종전의 개념으로는 불가능하게 됩니다. 예를 들어 요즈음 수술할 때 레이저를 사용하여 미세부위를 태운다든지 절단한다든지 하는 종전의 방법을 대신하는 것과 같은 이치입니다. 레이저의 미세부위 처리가능한 광의 집중원리를 적용하여 미세 반도체에서 dopant를 급격하게 온도를 올려서 처리하는 방법을 “spike annealing“이라고 합니다. 이의 장점은 (1) 미세구조를 용이하게 처리가능 (2) 다른 부위에는 영향을 끼치지 않음. (3) dopant의 활성을 극대화 (4) dopant의 확산을 최소화 를 들수 있습니다. 몇가지 file을 참고로 올렸습니다.