지식나눔

플라즈마 리모트 방식과 다이렉트 방식에 관하여 질문드립니다.

제가 아기로는 플라즈마 다이렉트 방식과 리모트 방식의 차이점은 기판과 플라즈마가 접촉하느냐 접촉하지 않느냐라고만 알고 있습니다. 나누는 기준이 단순한 접촉이 아니라 다른 기준이 있는지요.. 다른 기준이 있다면 무엇인지 알려주셨으면합니다. 그리고 각 방식에 대한 장/단점은 다이렉트는 직접 접촉하다보니 플라즈마에 대한 영향(표면이 망가짐)이 크고 다이렉트는 직접 접촉하지 않다 보니 표면에 대한 영향이 적다고 알고 있습니다. 이것또한 맞는 것인지 알려주시고 장/단점이 있다면 알려주세요 플라즈마 고수님들 부탁드려요~~~~~~ 그리고 추운 겨울 감기 조심하시고 모두들 건강하세요~~ 수고하세요~~~~~~~
  • 플라즈마
  • 다이렉트
  • 리모트
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
답변 1
  • 답변

    안길홍님의 답변

    가능한 한 정확하게 내용을 말씀하여 주셨으면 합니다.그냥 plasma가 아니고, Etching시의 plasma를 말씀하여 주셨으면 더욱 좋았을 것 같습니다. 2가지의 방법중 어느 것이 좋다 나쁘다 라고 말할 수 없는 것이 각각의 용도가 다르기 때문입니다. 첨부file을 참고하시기 바랍니다.
    가능한 한 정확하게 내용을 말씀하여 주셨으면 합니다.그냥 plasma가 아니고, Etching시의 plasma를 말씀하여 주셨으면 더욱 좋았을 것 같습니다. 2가지의 방법중 어느 것이 좋다 나쁘다 라고 말할 수 없는 것이 각각의 용도가 다르기 때문입니다. 첨부file을 참고하시기 바랍니다.
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