2008-01-15
org.kosen.entty.User@19e8b915
이근우(kkeun8722)
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제가 아기로는 플라즈마 다이렉트 방식과 리모트 방식의 차이점은
기판과 플라즈마가 접촉하느냐 접촉하지 않느냐라고만 알고 있습니다.
나누는 기준이 단순한 접촉이 아니라 다른 기준이 있는지요..
다른 기준이 있다면 무엇인지 알려주셨으면합니다.
그리고 각 방식에 대한 장/단점은
다이렉트는 직접 접촉하다보니 플라즈마에 대한 영향(표면이 망가짐)이 크고
다이렉트는 직접 접촉하지 않다 보니 표면에 대한 영향이 적다고 알고 있습니다.
이것또한 맞는 것인지 알려주시고 장/단점이 있다면 알려주세요
플라즈마 고수님들 부탁드려요~~~~~~
그리고 추운 겨울 감기 조심하시고 모두들 건강하세요~~
수고하세요~~~~~~~
- 플라즈마
- 다이렉트
- 리모트
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
안길홍님의 답변
2008-01-15- 0
가능한 한 정확하게 내용을 말씀하여 주셨으면 합니다.그냥 plasma가 아니고, Etching시의 plasma를 말씀하여 주셨으면 더욱 좋았을 것 같습니다. 2가지의 방법중 어느 것이 좋다 나쁘다 라고 말할 수 없는 것이 각각의 용도가 다르기 때문입니다. 첨부file을 참고하시기 바랍니다.