2008-01-16
org.kosen.entty.User@1c5062d0
임유승(rim2000)
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박막 계면 러프니스에 따른 물리적 특성 변화 메커니즘을 설명한 논문 추천좀 부탁드립니다.
다층막 제작시 특히 산화물 막 계열로 정보가 있음 너무 좋겠습니다.
부탁드릴께요!
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
김태영님의 답변
2008-02-22- 0
>박막 계면 러프니스에 따른 물리적 특성 변화 메커니즘을 설명한 논문 추천좀 부탁드립니다. > >다층막 제작시 특히 산화물 막 계열로 정보가 있음 너무 좋겠습니다. > >부탁드릴께요! 박막 계면 러프니스에 따른 물리적 특성 변화 메커니즘에 관해서라면, 전극 등의 일함수 변화에 관련한 아주 오래된 논문이 있습니다. 도움이 될지 모르겠네요.