2008-01-17
org.kosen.entty.User@1f9839aa
김양수(dlinka)
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금일 신문기사중에 다음과 같은 기사가 모니터링 되었는데,
어떠한 원리로 ITO Target에 생기는 노쥴을 억제했는지 알수 있을까요?
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※ ALVAC, 연속 생산 가능 LCD 패널 제조 장치 개발 [일경산업]
ALVAC은 16일, 新型 LCD 패널 제조 장치를 개발했다고 발표했다. 「10세대」와「8.5세대」라고 불리는 대형 유리 기판에 대응했다. 향후 1년 안에 5대 판매를 전망하고 있다.
개발한 것은 컬러 필터 제조용의 세로형 인라인 스퍼터링 장치「SDP」시리즈의 新기종이다. ITO 박막을 만드는데 사용한다. 10세대用이「SDP―3000 VTX」로, 8.5세대用이「SDP―2600 VTX」. 각각 3m×3m, 2.6m×2.3m의 대형 유리 기판에 대응한다.
2장의 유리 기판을 동시에 반송하는 것이나, 新개발의 기판 이송 시스템을 개발하여 생산성을 높였다. 처리 시간을 기존보다 길게 하여, 안정된 박막을 생성할 수 있다고 한다.
ITO 소재 표면에 작은 덩어리가 생기는 것을 억제한 것으로 청소 작업이 불필요하게 되어, 연속 생산을 할 수 있게 되었다.
판매 가격은 10세대用 3000 VTX가 25억엔, 2600 VTX가 20억엔.
【사진】청소가 불필요하게 된 ALVAC의 LCD 패널 제조 장치(이미지 그림)
- ITO
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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