2008-01-21
org.kosen.entty.User@63fb5e62
유인규(newplane78)
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안녕하세요,sputtering,etching등에 관해서 이제 막 공부를 시작한 학생입니다.
glass를 subdstrate로 사용했을때 physical sputtering yield에 관해서 알고 싶은데
논문이나 그에 관련된 책에 관해서 많이 찾아 보았지만 잘 찾을 수가 이렇게 질문 올립니다.
유리의 Heat of sublimation 이나 surface binding energy에 관해서 알 수 없을까요?
이에 관한 논문이나 책등 침조할 만한 것에 관해서,혹은 아시는 만큼 알려주시면 감사하겠습니다.
- glass
- etching
- sputtering yield
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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