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지식나눔

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CVD의 반응속도상수 구하기

2008-01-21 org.kosen.entty.User@3db3cc33 문석민(anstjrals)
  • 1
PE-CVD 장비를 다루고 있는 학생입니다. SH4(silane)과 Ar(argone)을 이용해서 silicon wafer에 silicon을 증착시키는 실험을 하고 있는데요. working pressure와 silane의 flow rate는 고정시키고, substrate의 온도를 다르게 해서 온도에 따른 반응속도 상수를 구하려고 합니다. 어떤 방면으로 접근을 해야하는지 도움을 요청합니다. 예를 들어서 설명해주시면 더욱 감사드리겠습니다 ^^;
  • CVD
  • reaction velocity coeffidient
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답변 1
  • 답변

    안길홍님의 답변

    2008-01-23
    • 0
    위의 site를 접속하시어서 CVD관련 반응속도관계식 및 이의 자료를 참고하시면 도움이 될 것입니다.
    답변수정
    위의 site를 접속하시어서 CVD관련 반응속도관계식 및 이의 자료를 참고하시면 도움이 될 것입니다.
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