2008-01-24
org.kosen.entty.User@1558378a
홍종인(kairduck)
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안녕하세요. Teflon AF 1600 resin을 FC-77에 녹여서 만든 점도가 있는 용액으로 spin coating으로 막을 코팅하고자 하였습니다. 웨이퍼에 균일하게 코팅하고 싶었으나, 만족할 만한 결과를 얻지 못했습니다. 군데군데 마치 무언가가 석출된 듯한 이상한 모양을 보이거나 논바닥 갈라졌을때와 같은 형상이 웨이퍼 전면에 보입니다. FC-77이 휘발성이 커서인지 spin-coating 과정 중에 Teflon 용액이 말라버리는 것 같습니다. 균일한 두께를 지니는 Teflon AF film을 입혀 보신 적이 있으신 분들의 고견을 부탁드립니다.
그 외, baking 조건에 대해서도 조언 주시면 감사하겠습니다.
- Teflon
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답변 1
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답변
안길홍님의 답변
2008-01-24- 0
기본적인 사항에 대하여 말씀드리겠습니다. Coating에는 3가지의 기본요소가 있습니다.(1)Binder(2)Filler (3)Solvent , 귀하 같으면 (1)과(3)만 해당되겠습니다. 그러나 위에 추가하여 제4의 요소가 있는데 이에는 첨가제가 해당됩니다. 즉,음식으로 치면 양념같은 것이지요.어떤 첨가제를 사용하느냐에 따라 주menu에 큰 영향이 있을 수 있습니다. 첨가제에는 기본적으로 소포제(defoaming),표면평활조절제(surface control) 그리고 wetting & dispersing, 이상 3가지 입니다. 위의 첨가제를 제조하는 국제적인 maker를 contact하셔서 첨가제를 넣어주시기 바랍니다. www.byk.com www.tego.de 모두 독일maker입니다.