2008-01-25
org.kosen.entty.User@1a50554c
이근우(kkeun8722)
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반도체 장비업체에 다니고 있는 회사원입니다.
외부 업체에서 요청이 들어와서 이렇게 글을 올리게 됐습니다.
컬러 필터가 코팅되어 있는 ITO glass를 계면 활성화를 위하여 플라즈마 처리를 하는 장비를 담당하고 있습니다.
하지만 외부 업체에서 플라즈마 처리를 할 경우 ITO glass의 친수성이나 계
면 활성화는 되겠지만 코팅되어 있는 컬러필터에 좋지 않은 영향이 미칠 것 같다는 문의가 들어왔습니다.(조도 측정면)
그래서 플라즈마 처리 전 후의 조도를 측정해서 데이터화 해서 업체에 보내
주어야 하는데, 조도 측정을 어떻게 해야 할지 모르겠네요.
고수님들의 많은 답변 부탁드립니다.
추운 겨울 감기 조심하시고 항상 건강하세요~!~!~!~!~
수고하세요~!~!~!~!~!
- plasma
- color filter
- 조도
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
김기범님의 답변
2008-01-28- 0
>반도체 장비업체에 다니고 있는 회사원입니다. > >외부 업체에서 요청이 들어와서 이렇게 글을 올리게 됐습니다. > >컬러 필터가 코팅되어 있는 ITO glass를 계면 활성화를 위하여 플라즈마 처리를 하는 장비를 담당하고 있습니다. > >하지만 외부 업체에서 플라즈마 처리를 할 경우 ITO glass의 친수성이나 계 >면 활성화는 되겠지만 코팅되어 있는 컬러필터에 좋지 않은 영향이 미칠 것 같다는 문의가 들어왔습니다.(조도 측정면) > >그래서 플라즈마 처리 전 후의 조도를 측정해서 데이터화 해서 업체에 보내 > >주어야 하는데, 조도 측정을 어떻게 해야 할지 모르겠네요. > >고수님들의 많은 답변 부탁드립니다. > >추운 겨울 감기 조심하시고 항상 건강하세요~!~!~!~!~ > >수고하세요~!~!~!~!~! 답변이 다소 늦은 듯 합니다만 아는 데로 말씀을 드리자면 CF의 조도(粗度,roughness)를 측정하시기에는 AFM이 적절 할 듯 합니다. AFM이외에도 광학적인 방법으로 surface roughness를 측정 할 수 있는 장비가 있지만 투명한 샘플-Glass/CF/ITO -임을 고려할 때 역시 AFM이 답이라고 생각됩니다. 일반적인 VA type이라고 생각하고 글을쓰고 있습니다만, 다시 한 번 확인드리자면 CF위에 ITO가 올라가는 것이죠? 그렇다면 저도 경험은 없습니다만, plasma bombadment에 의해 CF resin의 roughness가 증가할 가능성은 있을 듯 하네요. 다만 그 정도가 미세한 경우 sampling하여 측정하실때 핸들링에 주의를 기울이셔야 할 듯 합니다.