2008-01-29
org.kosen.entty.User@e85b079
서동범(olbang)
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RF 유도결합플라즈마의 실드에 관하여 알고싶습니다.
플라즈마 진단에 대하여 알고 싶습니다.
- RF Plamsa
- plasma 진단
- Langmuir probe
지식의 출발은 질문, 모든 지식의 완성은 답변!
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 3
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답변
안길홍님의 답변
2008-01-29- 0
자료의 연결입니다. -
답변
안길홍님의 답변
2008-01-29- 0
하나씩 올립니다. -
답변
안길홍님의 답변
2008-01-29- 0
(1)고주파 유도결합방식에서는 고주파의 전계에 의하여 유도전류가 발생 하게 되며,이에 따라 자계도 발생하게 된다는 점이 있습니다. 따라서 electron beam에 의하여 입사된 전자가 중성입자와 충돌하여 ion이 발생하게 되는데 ion은 하전입자로써 전하를 띄게 됩니다. 이러한 하전입자가 유도전계에 의하여 영향을 받게되면 plasma에 왜곡 현상이 일어나게 됩니다.이를 막기 위하여 shield를 inner및 outer에 설치하게 됩니다. 이를 Faraday inner & outer ion shield라고 합니다. 첨부자료 참고하세요. (2)Plasma의 온도와 density를 측정하기 위한 probe를 Langmuir probe라고 하는데 이는 초창기에 사용하던 방식이고 요즈음은 Langmuir probe라도 3벌식,4벌식 그리고 전자식,magnetic type,laser type등 진보된 probe들이 나오고 있습니다. Langmuir probe에 대한 질의 사항이므로 이의 기본에 대하여 자료를 첨부합니다.