2008-01-30
org.kosen.entty.User@36d2ee08
임유승(rim2000)
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EVG620 모델을 이용하여 사진공정을 진행하려고 합니다.
5인치 글라스 마스크를 제작중인데 두께 결정을 못하고 있습니다.
제작될 패턴의 최소 선폭은 4um 이며 최대 수백 마이크론 정도 됩니다.
글라스 두께가 1.6 , 2.3T , 2.8T , 4.8T 중에 골라야 하는데 고민입니다.
두께를 결정하는 고려되는 요인과 추천 두께좀 부탁드릴께요!
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 2
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답변
한용희님의 답변
2008-01-30- 0
>EVG620 모델을 이용하여 사진공정을 진행하려고 합니다. > >5인치 글라스 마스크를 제작중인데 두께 결정을 못하고 있습니다. > >제작될 패턴의 최소 선폭은 4um 이며 최대 수백 마이크론 정도 됩니다. > >글라스 두께가 1.6 , 2.3T , 2.8T , 4.8T 중에 골라야 하는데 고민입니다. > >두께를 결정하는 고려되는 요인과 추천 두께좀 부탁드릴께요! 5인치 마스크라면 1.6T 적당할 것 같습니다. 마스크 두께는 얇을수록 좋겠지만 사용되는 사이즈에 적당한 두께여야 휘어짐을 방지하거나(눈에보이지는 않겠지만) 핸들링하기가 편합니다. 직접 마스크를 만드는 것이 아니라 국내의 업체들(마이크로이미지, 엘엠테크 등)을 이용하시면 사이즈에 적합한 두께를 추천해 줄 것입니다. 보통의 경우 5인치 마스크는 1,6 - 2.3T, 7인치 마스크는 2.3 - 2.8T로 제작합니다. -
답변
이근우님의 답변
2008-01-30- 0
보통 대부분의 aligner은 4.8T를 사용합니다. 그리고 선폭을 말씀하셨는데 마스크 제작시 마스크 패턴을 글래스 윗면으로 할 경우 와 아랫면에으로패턴을 할 경우가 있습니다. 하지만 노광시 글래스 위에 패턴이 있을경우 마스크 상에서 약간의 회절이 발생 하므로 대부분 글래스 아랫면, 즉 PR과 맞닿는 면에 마스크 패터닝을 합니다. aligner 양산용이 아닌 이상 학교나 연구소 용은 90% 이상이 4.8T를 사용합니다.