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지식나눔

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SU-8 adhesion promotor 추천 부탁드립니다.

2008-02-01 org.kosen.entty.User@495f14f2 박정호(kayaky76)
  • 1
SU-8 (SU-8 2000 resist)을 기판에 코팅하고 UV 레이저 4 beam interference 패턴을 조사시켜 주기적인 3차원 구조를 만들고자 합니다. develop(PGMEA) 공정에서 SU-8 필름이 기판과의 adhesion이 좋지 않아 패턴 형성 부분이 delamination됩니다. 혹시 SU-8을 사용하면서 접착문제를 해결하신 경험이 있으신분의 조언을 부탁드립니다.
  • SU-8
  • holography
  • 3D pattern
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답변 1
  • 답변

    이근우님의 답변

    2008-02-01
    • 0
    SU-8로 몰드를 세운적이 있습니다. Su-8은 높은 몰드를 세울수 있기 때문에 Crack이 심하게 발생합니다. 따라서 베이크가 끝난 후 바로 꺼내면 안됩니다. 핫플레이트 온도가 Room Temp'가 될때까지 식힌후에 웨이퍼를 꺼내야 합니다. 그렇지 않으면 100% 크랙이 발생합니다.
    답변수정
    SU-8로 몰드를 세운적이 있습니다. Su-8은 높은 몰드를 세울수 있기 때문에 Crack이 심하게 발생합니다. 따라서 베이크가 끝난 후 바로 꺼내면 안됩니다. 핫플레이트 온도가 Room Temp'가 될때까지 식힌후에 웨이퍼를 꺼내야 합니다. 그렇지 않으면 100% 크랙이 발생합니다.
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