2008-02-04
org.kosen.entty.User@4390f1fe
이근우(kkeun8722)
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TFT 공정 중 다결정 실리콘 형성 후 이동도가 높아지는 것으로 알고 있습니다.
그런데 이 이동도를 측정 할 수 있는 장비나 방법이 궁금합니다.
알려주세요.. 고수님들..
추운겨울 감기조심하시고 건강하세요
- mobility
- 이동도
- si
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
안길홍님의 답변
2008-02-05- 0
기술의 발전으로 인하여 최근의 측정방법으로써, Optoelectronic method 및 Electro-magnetic method라는 신기법이 적용되고 있으나, 가장 범용으로 사용되는 Hall effect에 의한 측정방법을 중심으로 설명드립니다. (1) Hall effect에 의한 방법 (2) Van der Pauw법에 의한 방법 첨부file을 참고하시기 바랍니다.