2008-02-11
org.kosen.entty.User@52af2f46
손삼익(samicks)
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엘립소미터 설비를 추천 바랍니다.
주로 다루는 시료는 Functional coating on glass 입니다.
Anti reflection, UV cut , IR cut 등에 사용되는 SiO2, TiO2, 무기막 들입니다.
박막의 두께 및 강학 상수를 구하는데 사용합니다.
유명한 두 업체(W,H)를 비교 중인데 결과치가 (두께) 너무 차이가 크내요.
설비 유지가동의 편이성,
소프트웨어 사용의 편이성
기기의 정밀도 측면에서
엘립소미터를 자주 사용하시는 분들의 의견을 구합니다.
- 엘립소메타
- 두께
지식의 출발은 질문, 모든 지식의 완성은 답변!
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 4
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안길홍님의 답변
2008-02-11- 0
엘립소미터에도 측정 파장에 따라 여러가지 종류가 있습니다. 따라서 귀하가 원하는 측정 파장대의 엘립소미터를 구하여야 합니다. 다음의 세계적인 maker를 한번 더 check하여 보시기 바랍니다. www.angstromadvanced.com www.jobinyvon.com www.jawoollam.com -
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김정렬님의 답변
2008-02-12- 0
안녕하세요. 꼭 일립소미터리만으로 국한하지 않으시면 아래의 장비를 소개합니다. 광학식 미접촉 측정 장비이며, spectrophotometer 입니다. 옛날에 광통신 부품을 제조할 때에 사용해 던 것인데 그 때에는 SiO2 의 인텍스 값을 기준으로 하였습니다. 국내 장비는 : KMAC 이며, 대전에 있구요. (국내에서 광을 가장 잘 해석하여 굴절률값과 흡광도 값을 잘 피팅시키고 있습니다.) Normal incident 와 70 도 angle 로 같이 있습니다. 한번 의뢰해서 측정해 보심이 좋을 것으로 판단이 됩니다. 국외 장비는 윗 선배님들께서 설명하였기에 설명을 더 드리지 않기로 하겠습니다. >엘립소미터 설비를 추천 바랍니다. > >주로 다루는 시료는 Functional coating on glass 입니다. > >Anti reflection, UV cut , IR cut 등에 사용되는 SiO2, TiO2, 무기막 들입니다. > >박막의 두께 및 강학 상수를 구하는데 사용합니다. > > >유명한 두 업체(W,H)를 비교 중인데 결과치가 (두께) 너무 차이가 크내요. > >설비 유지가동의 편이성, >소프트웨어 사용의 편이성 >기기의 정밀도 측면에서 > >엘립소미터를 자주 사용하시는 분들의 의견을 구합니다. -
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조주웅님의 답변
2008-02-12- 0
플라즈마업계에서 식각공정 평가를 위해 jobinyvon 제품의 UV-ISEL을 사용하였고, 사용의 편리성을 위해 jobinyvon 제품의 MM-16을 검토한 경험을 근거로 질문에 대한 답변을 기술합니다. 두께 측정장비는 시편의 종류와 측정하고자 하는 두께 범위 및 사용용도에 의해 편리성과 정확도가 결정 된다고 생각합니다. UV-ISEL은 다양한 시편과 두께에 대한 측정이 가능하여, 주로 연구소와 학교에서 사용되며, MM-16은 빠른 측정과 사용의 편리성으로 인해 생산공정에서 많이 사용됩니다. - 설비 유지가동의 편이성: 설비 유지가동은 MM-16, UV-ISEL 동일하며, 편이성은 MM-16이 빠르고 편합니다. - 소프트웨어 사용의 편이성: MM-16, UV-ISEL 동일하다고 생각합니다. - 기기의 정밀도 측면에서 : UV-ISEL이 다양한 시편에 대한 대응이 가능하고, 정밀도가 우수합니다. 그러나, 측정자의 숙련도와 경험에 의해 좋은 data가 확보 된다고 생각합니다. 호리바코리아에서 Spectroscopic Ellipsometer를 무상으로 제공되는 테스트서비스 실시하니 한번 검토하는 것도 좋을 것이라 생각합니다. 그리고, 첨부된 자료는 UV-ISEL 관련 자료입니다. 참조하시기 바랍니다. http://www.horiba.co.kr/ 담당: 서정일 대리 02) 753-7911, 010 4876 7910 -
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고상운님의 답변
2008-03-04- 0
>엘립소미터 설비를 추천 바랍니다. > >주로 다루는 시료는 Functional coating on glass 입니다. > >Anti reflection, UV cut , IR cut 등에 사용되는 SiO2, TiO2, 무기막 들입니다. > >박막의 두께 및 강학 상수를 구하는데 사용합니다. > > >유명한 두 업체(W,H)를 비교 중인데 결과치가 (두께) 너무 차이가 크내요. > >설비 유지가동의 편이성, >소프트웨어 사용의 편이성 >기기의 정밀도 측면에서 > >엘립소미터를 자주 사용하시는 분들의 의견을 구합니다. 당사에서는 은반사 필름을 제조하기 위해 엘립소미터를 구매한 적이 있는데, 여러 업체중 엘립소 테크놀러지라는 회사를 추천하고 싶습니다. 전화번호: 031-546-6677