2008-02-13
org.kosen.entty.User@17caa18d
이근우(kkeun8722)
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Si LTPS 공정에서 다결정 실리콘 결정시 결정성이 좋을수록 전하이동도가 높은
걸로 알고 있습니다.
결정성이 좋다는 것이 무슨 뜻인지 궁금하네요..
예를 들면 어떤 모양이 있다던지... 아니면 그레인의 크기가
일정하다든지... 등등이요..
그리고 LTPS 관련 책 소개 부탁드립니다. 또는 자료 좀 부탁드립니다.
- LTPS
- si
- poly
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답변 2
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답변
안길홍님의 답변
2008-02-15- 0
Si LTPS에서 가장 문제가 되는 것은 Si은 4개의 결합손을 가지고 있는데 이러한 결합손이 질서 정연하게 격자정합(lattice matching)을 이루어야 효율성이 좋습니다. 그러나 작업중에 격자 부정합(lattice mismatching)을 이루는 경우가 있 습니다. 이러한 경우 전자의 흐름이 여기에서 단절되기 때문이 이를 점결함이라고 합니다. 이러한 결함이 많을 수록 효율성이 낮아집니다. 그래서 Si 단결정에 의한 태양전지와 a-Si 태양전지의 효율성에서 차이가 생기게 됩니다. 첨부자료를 참고하세요. -
답변
김상문님의 답변
2008-02-18- 0
LTPS 공정에서 다결정 실리콘보다는 아몰퍼스 실리콘이 주로 생산됩니다. 왜냐하면 350℃저온에서 주로 합성되기 쉽기때문입니다. 따라서 대형 LCD에서 이방법으로 TFT를 만들기 때문에 상용화가 가능해진 것입니다. PECVD를 사용 시 결정성을 갖는 폴리실리콘이 만들어집니다. LTPS방법으로 박막을 형성하게 되면 대면적 실리콘 태양전지 제조가 가능합니다. 문제는 실리콘 표면에 dangleing bond 가 많아져 효율이 저하 될 수 있습니다. 아마도 이것을 보고 결정성이라 하지 않았나 생각됩니다. 수소함유 비정질 실리콘 막을 형성 할 경우 문제가 되었던 것이 개선되고 광흡수율이 증가합니다. >Si LTPS 공정에서 다결정 실리콘 결정시 결정성이 좋을수록 전하이동도가 높은 > >걸로 알고 있습니다. > >결정성이 좋다는 것이 무슨 뜻인지 궁금하네요.. > >예를 들면 어떤 모양이 있다던지... 아니면 그레인의 크기가 > >일정하다든지... 등등이요.. > >그리고 LTPS 관련 책 소개 부탁드립니다. 또는 자료 좀 부탁드립니다.