2008-02-28
org.kosen.entty.User@35283267
김경태(kkt5648)
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glass 위에 SU-8을 형성하여 500nm 피치,1um 두께를 가진 SU-8을 RIE 이용하여 식각하여 glass 패턴을 하고자 합니다. 식각 가스는 O2와 CF4을 이용할수 있습니다. 식각 파라미터를 어떻게 잡아야 하는지...파워나 기타등등...경험있으신분들 많은 도움 부탁드립니다.
고수님들의 도움에 미리 감사드립니다.
- etching
- su-8
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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