지식나눔

박막의 내부응력 측정에 있어서 궁금증이 있습니다.

안녕하세요.. 저는 폴리머 기판위에 ITO 박막을 증착하여 특성을 연구하고 잇는 학생입니다. 이번에 실리콘 기판에 박막을 입히고 내부 응력을 측정하려고 합니다. 기판 곡률법이라는 방법으로 하기 때문에 불투명한 실리콘 기판위에 증착하는데요.. 이 실리콘 기판을 비정질로 해야하는지 단결정으로 해야하는지 고민이 생겨서 이렇게 글을 올립니다. 또한, 제가 실리콘 기판을 가로 0.4cm 세로 4cm 두께 100Mm 로 하려고 하는데요 가로가 얇아서 걱정인데 아주 매끈하게 실리콘을 자를 방법이 없을까요?
  • ITO
  • silicon wafer
  • Internal stress
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    고상운님의 답변

    >안녕하세요.. > >저는 폴리머 기판위에 ITO 박막을 증착하여 특성을 연구하고 잇는 학생입니다. > >이번에 실리콘 기판에 박막을 입히고 내부 응력을 측정하려고 합니다. > >기판 곡률법이라는 방법으로 하기 때문에 불투명한 실리콘 기판위에 증착하는데요.. > >이 실리콘 기판을 비정질로 해야하는지 단결정으로 해야하는지 > >고민이 생겨서 이렇게 글을 올립니다. > >또한, 제가 실리콘 기판을 가로 0.4cm 세로 4cm 두께 100Mm 로 하려고 하는데요 > >가로가 얇아서 걱정인데 아주 매끈하게 실리콘을 자를 방법이 없을까요? 실리콘 기판은 비정질로 해야할거 같고,컷팅은 레이져를 사용해 보심이 어떨런지요...
    >안녕하세요.. > >저는 폴리머 기판위에 ITO 박막을 증착하여 특성을 연구하고 잇는 학생입니다. > >이번에 실리콘 기판에 박막을 입히고 내부 응력을 측정하려고 합니다. > >기판 곡률법이라는 방법으로 하기 때문에 불투명한 실리콘 기판위에 증착하는데요.. > >이 실리콘 기판을 비정질로 해야하는지 단결정으로 해야하는지 > >고민이 생겨서 이렇게 글을 올립니다. > >또한, 제가 실리콘 기판을 가로 0.4cm 세로 4cm 두께 100Mm 로 하려고 하는데요 > >가로가 얇아서 걱정인데 아주 매끈하게 실리콘을 자를 방법이 없을까요? 실리콘 기판은 비정질로 해야할거 같고,컷팅은 레이져를 사용해 보심이 어떨런지요...
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    김희연님의 답변

    >안녕하세요.. > >저는 폴리머 기판위에 ITO 박막을 증착하여 특성을 연구하고 잇는 학생입니다. > >이번에 실리콘 기판에 박막을 입히고 내부 응력을 측정하려고 합니다. > >기판 곡률법이라는 방법으로 하기 때문에 불투명한 실리콘 기판위에 증착하는데요.. > >이 실리콘 기판을 비정질로 해야하는지 단결정으로 해야하는지 > >고민이 생겨서 이렇게 글을 올립니다. > >또한, 제가 실리콘 기판을 가로 0.4cm 세로 4cm 두께 100Mm 로 하려고 하는데요 > >가로가 얇아서 걱정인데 아주 매끈하게 실리콘을 자를 방법이 없을까요? 타이틀과 질문내용이 다소 다르군요. 어쨌든, 기판에 따라 ITO박막의 응력이 달라질 것이므로, 실제상황과 동일한 기판을 사용하셔야할것 같습니다. 즉, 비정질일때와 단결정기판일때 ITO박막의 응력이 다르게 측정될것입니다. 실리콘 기판을 기다란 형태로 자른후 곡률측정법을 적용하시려는것 같은데, Stoney eq.에 의해 곡률측정법 적용시, Biaxial 상태를 가정하는데, 길죽한 상태가 되면 이러한 응력상태에서 벗어날 가능성이 있으므로, 정방형의 시편을 사용하기를 추천드립니다.
    >안녕하세요.. > >저는 폴리머 기판위에 ITO 박막을 증착하여 특성을 연구하고 잇는 학생입니다. > >이번에 실리콘 기판에 박막을 입히고 내부 응력을 측정하려고 합니다. > >기판 곡률법이라는 방법으로 하기 때문에 불투명한 실리콘 기판위에 증착하는데요.. > >이 실리콘 기판을 비정질로 해야하는지 단결정으로 해야하는지 > >고민이 생겨서 이렇게 글을 올립니다. > >또한, 제가 실리콘 기판을 가로 0.4cm 세로 4cm 두께 100Mm 로 하려고 하는데요 > >가로가 얇아서 걱정인데 아주 매끈하게 실리콘을 자를 방법이 없을까요? 타이틀과 질문내용이 다소 다르군요. 어쨌든, 기판에 따라 ITO박막의 응력이 달라질 것이므로, 실제상황과 동일한 기판을 사용하셔야할것 같습니다. 즉, 비정질일때와 단결정기판일때 ITO박막의 응력이 다르게 측정될것입니다. 실리콘 기판을 기다란 형태로 자른후 곡률측정법을 적용하시려는것 같은데, Stoney eq.에 의해 곡률측정법 적용시, Biaxial 상태를 가정하는데, 길죽한 상태가 되면 이러한 응력상태에서 벗어날 가능성이 있으므로, 정방형의 시편을 사용하기를 추천드립니다.
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