2008-03-06
org.kosen.entty.User@5c6ce849
오지영(jizero5)
- 3
방갑습니다..
질문을 하나 올립니다...
Pulse DC 스퍼터링 장비에서 Power 공급을 할려는데...Full(80%~100%) Power가 공급이 안되는 이유를 알고싶습니다.
캐소드 사이즈는 150x1600 입니다.
파워는 10kW, ~100kHz 용량이구요...
예전에 다른 장비도 DC Power를 사용했었는데..이것 또한 Full(80%~100%) Power 공급이 안되더라구요..
구조적인 문제인지...재질 문제인지...다른 문제인지...스퍼터 분야에 입문한지 얼마 되지 전혀 감이 안옵니다.
여러분의 답변 부탁드립니다.
- sputter
- power supply
- plasma
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 3
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답변
안길홍님의 답변
2008-03-06- 0
보통 전기장비에서 10Kwatt라고 하면 최대 허용될 수 있는 수전전력을 말하는데, 실제 사용할 때는 8Kwatt(80%)로 사용함이 장비에 무리가 없습니다. 지금 DC sputter에서 80%가 잘 올라가지 않는다는 것은 당연합니다. 아마 약 50%정도로 생각이 되는데요, 이는 DC pulse에서는 충방전과정이 이루어 지며(63% 방전, 37% 잔류), 그리고 전극의 재질, 크기에 따라 자기가 가질 수 있는 전기용량 즉,유전용량이 장비의 Max.치 보다 적기 때문입니다. 전력 10Kwatt 란 (전압)x(전류)=(전류^2)x(저항)으로 나오는 것은 잘아시리라 생각합니다. sputter전극의 간격이 적어지든지 또는 전극의 저항치가 낮은 물질이 든지에 따라서 달라집니다. 그리고 극판사이의 유전용량 C 는 (유전상수*전극면적)/전극의 간격 으로 나오게 되는데 전극의 면적이나 간격에 의하여서도 좌우 됩니다. 그리고 주파수가 높으면 전력은 낮아지도록 되어 있습니다. 전력을 80%정도로 올려야 할 필요성이 꼭 있다면 저항을 올릴 수 있는 방법으로 sputter면 뒤에 저항이 조금 높은 물질을 한겹 붙여서 사용할 수는 있지만 굳이 그렇게 까지 할 필요는 없을 것 같습니다. -
답변
고상운님의 답변
2008-03-08- 0
>방갑습니다.. > >질문을 하나 올립니다... > >Pulse DC 스퍼터링 장비에서 Power 공급을 할려는데...Full(80%~100%) Power가 공급이 안되는 이유를 알고싶습니다. > >캐소드 사이즈는 150x1600 입니다. > >파워는 10kW, ~100kHz 용량이구요... > >예전에 다른 장비도 DC Power를 사용했었는데..이것 또한 Full(80%~100%) Power 공급이 안되더라구요.. > >구조적인 문제인지...재질 문제인지...다른 문제인지...스퍼터 분야에 입문한지 얼마 되지 전혀 감이 안옵니다. > >여러분의 답변 부탁드립니다. 관련자료를 첨부했습니다. 참조하세요 -
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고상운님의 답변
2008-03-16- 0
>방갑습니다.. > >질문을 하나 올립니다... > >Pulse DC 스퍼터링 장비에서 Power 공급을 할려는데...Full(80%~100%) Power가 공급이 안되는 이유를 알고싶습니다. > >캐소드 사이즈는 150x1600 입니다. > >파워는 10kW, ~100kHz 용량이구요... > >예전에 다른 장비도 DC Power를 사용했었는데..이것 또한 Full(80%~100%) Power 공급이 안되더라구요.. > >구조적인 문제인지...재질 문제인지...다른 문제인지...스퍼터 분야에 입문한지 얼마 되지 전혀 감이 안옵니다. > >여러분의 답변 부탁드립니다. 첨부 자료 참조하세요..