2008-03-09
org.kosen.entty.User@3bf15d2a
김정환(npngkjh)
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반도체 공정 clean room안에 보면
yellow room이 있는데요
왜 yellow room 인가요?
또 yellow room에서 리소를 하는 이유는 뭔가요?
- yellow room
- clean room
- photolithography
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
박혜정님의 답변
2008-03-10- 0
> >반도체 공정 clean room안에 보면 > >yellow room이 있는데요 > >왜 yellow room 인가요? > >또 yellow room에서 리소를 하는 이유는 뭔가요? yellow room에서 하는 일은 photolitography 공정입니다. photolith 과정에서 사용하는 photoresist가 빛(UV)에 반응하는 물질이기때문에 덜민감한 파장인 500nm 이상의 yellow light 상태의 실험실을 만들었습니다. 참고로 형광등에서도 약간의 UV가 나옵니다.