2008-03-17
org.kosen.entty.User@d704641
박재경(espjk)
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gate oxide를 wet etching하는 실험을 하고 있습니다. 처음 실험을 시작할 때에는 wet etching을 해서 분석을
하려고 했는데 실험을 진행하다가 etching 후 application을 찾게 되었습니다.
etching한 gate oxide를 사용해서 만들 수 있는 간단한 구조의 소자나 application에 대해서 알려주세요.
주로 mems용으로 사용하는 것 같던데 mems논문들을 찾아보니 간단한 구조를 찾을 수가 없더군요.
아래에 글을 올렸는데 답변 주신분은 high-k소자에 대한 자료를 올려주셨더라구요
제가 원하는건 hf silicate를 사용한 high-k소자에 대한 자료가 아니라 gate oxide를 wet etching했을때 만들
수 있는 가장 간단한 구조체 같은 걸 원하는 거라서요.
mems구조를 보니 학교 실험실에서 만들기엔 돈이 너무 많이들고 .... 적은 비용으로 만들 수 있는
간단한 구조체에 대한 application을 부탁드립니다.
참고 자료도 많이 올려주세요.
- mems application
- gate oxide
- wet etching
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
안길홍님의 답변
2008-03-17- 0
FET 반도체로 가장 간단히 만들 수있는 것은 sensor종류들인데,수소 sensor를 예로 들면 gate위에 Pd(염화 팔라듐으로 )박막을 올려서 D,S에 전류를 흘리고 G전압의 변동을 check하는 것입니다.