2008-03-17
org.kosen.entty.User@6f6c8734
김양수(dlinka)
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Eximer UV에 사용되는 석영창은 Si 성분으로 장시간 사용하면 EUV에서 발생된
오존과 결합하여 SiO2 Powder(백탁현상)가 표면에 발생되고 이로인해 투과율 저하 및
파티클등 많은 문제를 발생 시킵니다. 석영창을 대체할수 있는 물질이 있을까요?
- Quartz
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답변 1
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답변
안길홍님의 답변
2008-03-17- 0
석영창은 오래 되면 haze현상이 발생하게 되는 게 맞습니다. 추천하는 것은 CaF2 또는 MaF2 glass로 바꾸어 보시는게 어떨까 생각합니다. Corning에서 나오며 (www.corning,com) 서울 용산 국제빌딩에 한국지사가있는데 전화번호가 바뀌지 않았다면 02-796-9500 입니다. 먼저 제품에 대하여 spec.을 검토하여 보심이 어떨런지요.