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지식나눔

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높이에 따른 Depth of Focus Margin 공식.

2008-03-24 org.kosen.entty.User@2d1903a5 양철규(sprtmWKd)
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첨부파일

안녕하세요..Lithography를 공부하고 있는 사람입니다. Lithography 중 높이에 따른 DoF 변화를 알고 싶습니다. 내용은 첨부파일에 나타내었습니다. 답변 부탁드리겠습니다.
  • DoF
  • Thickness
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