2008-04-07
org.kosen.entty.User@4659c984
임진묵(gakseori)
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모노 실란을 이용해 CVD장치에서 금속실리사이드를 만드려고 합니다. 문제는 모노실란이 매우 위험하고 위독하다고 알려져있는데 안전하게 사용할 수 있는 방법이 없나요? 간단한 장치나 약품으로 효율적이고 안전하게 실험 할 수 있는 법좀 알려주십시요.
- monosiane
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답변
김도형님의 답변
2008-04-08- 1
사실 사일랜이 독성이 강하기는 하지만 발화점이 매우 낮아 상온에서도 발화가 됩니다. 즉, 가스통에서 CVD 챔버까지 오는 경로중에 누설(leakage)이 된다면 독성이 퍼지기 전에 공기와 접촉하여 불이 나게 됩니다. 물론 통상적인 경우 가스통에 역류 방지장치가 되어 있어 폭발까지 가지는 않고 누설부분에서만 불이 뿜어나게 됩니다. (실제 경험담) 따라서 중간에 밸브 등 가스를 차단하는 장치만 갖추신다면 일차적인 대비는 하실 수 있으리라 생각됩니다. (당연히 소화기는 갖추어야 되겠지만 소화기를 사용한다고 꺼지지 않습니다. 왜냐하면 소스통에서는 계속 사일랜이 나오고 있기 때문입니다.) 근래에는 사일랜을 대체할 수 있는 CVD 소스들이 많이 개발되어 있습니다. 실리사이드를 형성하고자 하는 금속에 따라 소스가 달라질텐데 보통 소스회사와 접촉하시면 어렵지 않게 찾으실 수 있을 것 같습니다. 예를 들어 TiSix 같은 경우 TDMAT 같은 소스가 대표적입니다. >모노 실란을 이용해 CVD장치에서 금속실리사이드를 만드려고 합니다. 문제는 모노실란이 매우 위험하고 위독하다고 알려져있는데 안전하게 사용할 수 있는 방법이 없나요? 간단한 장치나 약품으로 효율적이고 안전하게 실험 할 수 있는 법좀 알려주십시요.