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XPS의 정량 분석에 관하여.

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XPS 가 정량 분석에 이용 가능하다고 들었습니다. 분석을 맡기러 operator 에게 찾아갔는데, 어떠한 분석을 원하냐고 하시길래, atomic percentage 와 측정 원소의 broad & narrow 영역 관 찰 부탁한다고 하였는데... XPS 를 이용한 atomic percentage 는 듣도 보고 못한 말이라며.. 저의 무식함에 분개하시네요. 기존의 XPS 측정 장소에서는 앞서 말씀드린 것처럼 data를 얻었는데, 새로 찾아간 이 곳은 왜 이러한 반응을 보이는지 이해할 수 없습니다. atomic percentage를 보여주는 경우를 첨부한 자료에서와 같이 논문에서 찾았는데, XPS 의 정량 분석의 의미는 무엇일까요? 가능한 것일까요?? 새로 찾아간 곳의 operator 말씀이 맞는지 아니면 정량이 가능한 것인지 궁금합니다. 조언 부탁드리겠습니다.
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    강광철님의 답변

    > XPS 가 정량 분석에 이용 가능하다고 들었습니다. > > 분석을 맡기러 operator 에게 찾아갔는데, > > 어떠한 분석을 원하냐고 하시길래, atomic percentage 와 측정 원소의 broad & narrow 영역 관 > >찰 부탁한다고 하였는데... > > XPS 를 이용한 atomic percentage 는 듣도 보고 못한 말이라며.. 저의 무식함에 분개하시네요. > > 기존의 XPS 측정 장소에서는 앞서 말씀드린 것처럼 data를 얻었는데, > > 새로 찾아간 이 곳은 왜 이러한 반응을 보이는지 이해할 수 없습니다. > > > atomic percentage를 보여주는 경우를 첨부한 자료에서와 같이 논문에서 찾았는데, > > XPS 의 정량 분석의 의미는 무엇일까요? 가능한 것일까요?? > > 새로 찾아간 곳의 operator 말씀이 맞는지 아니면 정량이 가능한 것인지 궁금합니다. > > 조언 부탁드리겠습니다. 에스카는 다 아시다 시피 표면에서 수nm의 표면을 분석하는장치입니다. 정량한계가 100%는 아니지만 %농도로 있는것에 대한 표면의 정량 분석은 가능합니다. 첨부한번참고하세요. >
    > XPS 가 정량 분석에 이용 가능하다고 들었습니다. > > 분석을 맡기러 operator 에게 찾아갔는데, > > 어떠한 분석을 원하냐고 하시길래, atomic percentage 와 측정 원소의 broad & narrow 영역 관 > >찰 부탁한다고 하였는데... > > XPS 를 이용한 atomic percentage 는 듣도 보고 못한 말이라며.. 저의 무식함에 분개하시네요. > > 기존의 XPS 측정 장소에서는 앞서 말씀드린 것처럼 data를 얻었는데, > > 새로 찾아간 이 곳은 왜 이러한 반응을 보이는지 이해할 수 없습니다. > > > atomic percentage를 보여주는 경우를 첨부한 자료에서와 같이 논문에서 찾았는데, > > XPS 의 정량 분석의 의미는 무엇일까요? 가능한 것일까요?? > > 새로 찾아간 곳의 operator 말씀이 맞는지 아니면 정량이 가능한 것인지 궁금합니다. > > 조언 부탁드리겠습니다. 에스카는 다 아시다 시피 표면에서 수nm의 표면을 분석하는장치입니다. 정량한계가 100%는 아니지만 %농도로 있는것에 대한 표면의 정량 분석은 가능합니다. 첨부한번참고하세요. >
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    이영국님의 답변

    당연히 정량분석 가능합니다. 그런데 operator가 정량에 대해서 조금 알아야 가능합니다. 가장 주의할 것은 XPS는 표면에 매우 민감한 분석입니다. 표면에서 5층 (즉 1nm) 밑에 있는 원소의 signal도 잘 잡히지 않을 정도입니다. 다른 말로 하면 표면이 오염되면 (손 때 등으로) 엉터리 데이터가 나오며 CO2, H2O 등의 흡착으로 C나 O가 항상 많게 나오니 가급적이면 Ar gun으로 표면을 etching 한 후 분석해 달라고 요청하세요.
    당연히 정량분석 가능합니다. 그런데 operator가 정량에 대해서 조금 알아야 가능합니다. 가장 주의할 것은 XPS는 표면에 매우 민감한 분석입니다. 표면에서 5층 (즉 1nm) 밑에 있는 원소의 signal도 잘 잡히지 않을 정도입니다. 다른 말로 하면 표면이 오염되면 (손 때 등으로) 엉터리 데이터가 나오며 CO2, H2O 등의 흡착으로 C나 O가 항상 많게 나오니 가급적이면 Ar gun으로 표면을 etching 한 후 분석해 달라고 요청하세요.
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    한용희님의 답변

    > XPS 가 정량 분석에 이용 가능하다고 들었습니다. > > 분석을 맡기러 operator 에게 찾아갔는데, > > 어떠한 분석을 원하냐고 하시길래, atomic percentage 와 측정 원소의 broad & narrow 영역 관 > >찰 부탁한다고 하였는데... > > XPS 를 이용한 atomic percentage 는 듣도 보고 못한 말이라며.. 저의 무식함에 분개하시네요. > > 기존의 XPS 측정 장소에서는 앞서 말씀드린 것처럼 data를 얻었는데, > > 새로 찾아간 이 곳은 왜 이러한 반응을 보이는지 이해할 수 없습니다. > > > atomic percentage를 보여주는 경우를 첨부한 자료에서와 같이 논문에서 찾았는데, > > XPS 의 정량 분석의 의미는 무엇일까요? 가능한 것일까요?? > > 새로 찾아간 곳의 operator 말씀이 맞는지 아니면 정량이 가능한 것인지 궁금합니다. > > 조언 부탁드리겠습니다. > xps가 표면분석 장비이지만 정략분석이 가능합니다. 정량 분석을 위해서는 계속해서 표면을 일정 한 속도로 스퍼터링에 의해 제거하고 측정하고 제거하고 측정하고 하는 프로세스가 반복되어 이루어집니다. 따라서 이러한 정략 측정은 매우 시간이 오래걸리는 작업이라 보통의 경우 전체 두께에서 제거하고 측정하고 하는 횟수를 어느정도 수준 정합니다. 예로 10회라는지 해서 평균값을 쓰지요 그러나 이러한 경우에도 정량분석을 위한 레퍼런스 샘플이 반드시 필요합니다.
    > XPS 가 정량 분석에 이용 가능하다고 들었습니다. > > 분석을 맡기러 operator 에게 찾아갔는데, > > 어떠한 분석을 원하냐고 하시길래, atomic percentage 와 측정 원소의 broad & narrow 영역 관 > >찰 부탁한다고 하였는데... > > XPS 를 이용한 atomic percentage 는 듣도 보고 못한 말이라며.. 저의 무식함에 분개하시네요. > > 기존의 XPS 측정 장소에서는 앞서 말씀드린 것처럼 data를 얻었는데, > > 새로 찾아간 이 곳은 왜 이러한 반응을 보이는지 이해할 수 없습니다. > > > atomic percentage를 보여주는 경우를 첨부한 자료에서와 같이 논문에서 찾았는데, > > XPS 의 정량 분석의 의미는 무엇일까요? 가능한 것일까요?? > > 새로 찾아간 곳의 operator 말씀이 맞는지 아니면 정량이 가능한 것인지 궁금합니다. > > 조언 부탁드리겠습니다. > xps가 표면분석 장비이지만 정략분석이 가능합니다. 정량 분석을 위해서는 계속해서 표면을 일정 한 속도로 스퍼터링에 의해 제거하고 측정하고 제거하고 측정하고 하는 프로세스가 반복되어 이루어집니다. 따라서 이러한 정략 측정은 매우 시간이 오래걸리는 작업이라 보통의 경우 전체 두께에서 제거하고 측정하고 하는 횟수를 어느정도 수준 정합니다. 예로 10회라는지 해서 평균값을 쓰지요 그러나 이러한 경우에도 정량분석을 위한 레퍼런스 샘플이 반드시 필요합니다.
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    김쌍조님의 답변

    > XPS 가 정량 분석에 이용 가능하다고 들었습니다. > > 분석을 맡기러 operator 에게 찾아갔는데, > > 어떠한 분석을 원하냐고 하시길래, atomic percentage 와 측정 원소의 broad & narrow 영역 관 > >찰 부탁한다고 하였는데... > > XPS 를 이용한 atomic percentage 는 듣도 보고 못한 말이라며.. 저의 무식함에 분개하시네요. > > 기존의 XPS 측정 장소에서는 앞서 말씀드린 것처럼 data를 얻었는데, > > 새로 찾아간 이 곳은 왜 이러한 반응을 보이는지 이해할 수 없습니다. > > > atomic percentage를 보여주는 경우를 첨부한 자료에서와 같이 논문에서 찾았는데, > > XPS 의 정량 분석의 의미는 무엇일까요? 가능한 것일까요?? > > 새로 찾아간 곳의 operator 말씀이 맞는지 아니면 정량이 가능한 것인지 궁금합니다. > > 조언 부탁드리겠습니다. XPS는 표면의 국부적인 면적을 분석하여 기본적인 물질 및 이 물질의 결합 에너지를 구하는 장비입니다. 측정 부위의 물질을 통해 정량 분석을 하기는 하는데요. 이는 찍는 표면마다 양이 다르기 때문에 절대적인 값이라고 할 수 없습니다. 위에서 말한데로 정밀도가 떨어지는 문제도 있구요.(극 소량 및 표면오염 물질의 혼입등) 정량 분석은 RBS로 하시면 절대적인 양을 알 수 있을 것입니다. 참고 바랍니다.
    > XPS 가 정량 분석에 이용 가능하다고 들었습니다. > > 분석을 맡기러 operator 에게 찾아갔는데, > > 어떠한 분석을 원하냐고 하시길래, atomic percentage 와 측정 원소의 broad & narrow 영역 관 > >찰 부탁한다고 하였는데... > > XPS 를 이용한 atomic percentage 는 듣도 보고 못한 말이라며.. 저의 무식함에 분개하시네요. > > 기존의 XPS 측정 장소에서는 앞서 말씀드린 것처럼 data를 얻었는데, > > 새로 찾아간 이 곳은 왜 이러한 반응을 보이는지 이해할 수 없습니다. > > > atomic percentage를 보여주는 경우를 첨부한 자료에서와 같이 논문에서 찾았는데, > > XPS 의 정량 분석의 의미는 무엇일까요? 가능한 것일까요?? > > 새로 찾아간 곳의 operator 말씀이 맞는지 아니면 정량이 가능한 것인지 궁금합니다. > > 조언 부탁드리겠습니다. XPS는 표면의 국부적인 면적을 분석하여 기본적인 물질 및 이 물질의 결합 에너지를 구하는 장비입니다. 측정 부위의 물질을 통해 정량 분석을 하기는 하는데요. 이는 찍는 표면마다 양이 다르기 때문에 절대적인 값이라고 할 수 없습니다. 위에서 말한데로 정밀도가 떨어지는 문제도 있구요.(극 소량 및 표면오염 물질의 혼입등) 정량 분석은 RBS로 하시면 절대적인 양을 알 수 있을 것입니다. 참고 바랍니다.
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