2008-04-21
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유제원(yjw8302)
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임의의 방법으로 어떤 기판에 패터닝을 한후에
micro 및 nano size의 depth가 될것이라 생각이 되구요..
이런 깊이 측정을 하려고 합니다.
어떤 식으로 하면 좋을지 좋은 답변들 부탁드립니다.
- patterning
- 깊이 측정
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 4
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답변
김태영님의 답변
2008-04-21- 0
> 임의의 방법으로 어떤 기판에 패터닝을 한후에 >micro 및 nano size의 depth가 될것이라 생각이 되구요.. >이런 깊이 측정을 하려고 합니다. > 어떤 식으로 하면 좋을지 좋은 답변들 부탁드립니다. > AFM(Atomic force microscope)이면 정확히 알수있겠죠.. (그런데...답변이 이렇게 쉬울리는 없다는 생각이...쩝...) -
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김희연님의 답변
2008-04-22- 0
> 임의의 방법으로 어떤 기판에 패터닝을 한후에 >micro 및 nano size의 depth가 될것이라 생각이 되구요.. >이런 깊이 측정을 하려고 합니다. > 어떤 식으로 하면 좋을지 좋은 답변들 부탁드립니다. > 패턴의 폭과 깊이에 따라 적당한 측정방법을 사용하여야 합니다. 1. Surface profiler : 예) alphastep - 표면을 탐침으로 긁어서 측정하는 장비, 탐침 팁의 굵기가 um 수준이므로 통상 5um이하의 패턴폭에는 적당하지 않음. 2. 3D surface profiler : 예) veeco 장비 - 표면에 생성된 laser 간섭무늬로부터 패턴의 폭과 두께를 비접촉으로 측정하는 장비, 가급적 표면에 laser를 반사할수있는 반사막이 있는 경우에 적용. 측정 resolution은 수nm로 매우 정밀 3. AFM : 위에서 설명 4. SEM : 패턴단면을 파괴하여 SEM으로 관찰 정확한 측정을 하실려면 교차분석이 필요합니다. -
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장용운님의 답변
2008-04-23- 0
> 임의의 방법으로 어떤 기판에 패터닝을 한후에 >micro 및 nano size의 depth가 될것이라 생각이 되구요.. >이런 깊이 측정을 하려고 합니다. > 어떤 식으로 하면 좋을지 좋은 답변들 부탁드립니다. > 오래 된 자료지만 고가의 장비를 사용하지 않고 간단한방법으로 두께를 측정하는 방법인 Auger 스펙트럼 방식을 첨부파일에 참조하세요 -
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장용운님의 답변
2008-04-23- 0
> 임의의 방법으로 어떤 기판에 패터닝을 한후에 >micro 및 nano size의 depth가 될것이라 생각이 되구요.. >이런 깊이 측정을 하려고 합니다. > 어떤 식으로 하면 좋을지 좋은 답변들 부탁드립니다. > 첨부파일에 분광결상 타원계측법을 이용한 패턴이 형성된 나노박막의 두께측정법을 참조하세요^^*