2008-04-23
org.kosen.entty.User@12319900
유제원(yjw8302)
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AFM 분석 실험에서..
RMS(root mean square )라는 용어가 나오는데
그것이 구체적으로 무엇을 의미하는지 궁금합니다.
- AFM
- RMS
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 2
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답변
윤선님의 답변
2008-04-23- 0
Scan 범위의 표면 거칠기를 나타냅니다 -
답변
안길홍님의 답변
2008-04-23- 0
표면거칠기를 나타낼 때 직선상에서 얼마의 거칠기를 가지느냐 하는 것을 나타낼 수도 있고,또는 전체 면적에서 volume으로, 즉 변화량(variation of quantity)로 나타낼 때도 있습니다. AFM측정은 매우 정밀한 측정 방법중의 한 가지인데 AFM으로 측정하여 3차원으로 나타낼 수가 있습니다. 이때 3차원으로 나타내어진 quantity에 대하여 어떤 거칠기를 가지고 있느냐 하는 것을 나타내는 한 방법으로 RMS라는 방법을 사용합니다. 이는 금속의 표면 거칠기 뿐만이 아니라 반도체 표면의 거칠기를 나타낼 때 매우 중요한 요소로 작용합니다. 첨부 자료에서 보면 AFM으로 측정하여 그 결과를 software에 의하여 3D로 나타낸 사진을 보실 수 있습니다. 이러한 거칠기를 나타낼 때는 RMS로 나타내며, 금속에서도 거칠기가 중요한 요소일 경우 RMS를 적용합니다. 이의 계산치는 software에 의하여 scan후 즉시 알 수 있도록 되어 있습니다.(통계에서도 많이 적용하고 있습니다) RMS를 제곱평균실효값이라고 하는데,한 주기 동안의 평균값(mean)을 구한 후에 제곱근(root)을 취하면 최대값의 0.707배가 실효값(RMS)으로 얻어 집니다. 다음site는 간이로 RMS를 계산하는 것이 들어 있으므로, 한번 수치를 넣어서 계산하여 보시기 바랍니다. www.easycalculation.com/statistics/root-mean-square.php