2008-04-24
org.kosen.entty.User@22f03803
안정호(action0011)
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PECVD 로 dry texturing 이후에
곧바로 SINx 증착을 해보려 합니다.
제가 부족해서 위의 방법의 장단점
그리고 이유를 잘 몰르겠습니다.
고수님들 반박이나 도움부탁드립니다
그리고 현제 실험실 단위로 texturing 이후
어떤과정들을 거치고 AR-Coating를 하는지도 알고싶어요
부탁드립니다
- solar cells
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
장용운님의 답변
2008-04-24- 0
>PECVD 로 dry texturing 이후에 >곧바로 SINx 증착을 해보려 합니다. > >제가 부족해서 위의 방법의 장단점 >그리고 이유를 잘 몰르겠습니다. > >고수님들 반박이나 도움부탁드립니다 > >그리고 현제 실험실 단위로 texturing 이후 >어떤과정들을 거치고 AR-Coating를 하는지도 알고싶어요 > >부탁드립니다 플라즈마 화학증착법(PECVD)은 주로 질화실리콘 방지막을 입히는데 주로 사용하느데 알곤만을 사용하는 질화실콘반사막을 형성시키는 Anti-reflection coating에 관한 자료를 첨부파일에서 참조하세요