2008-04-28
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곽계영(gykwak)
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안녕하세요.
한가지 질문 여쭤봅니다.
반도체 제조시 P-N 접합 만들때 사용하는 dopant 구입처를 알고싶습니다.
spray용 spin-on 도핑을 할때 위에 뿌려주는 dopant로
상호는 아래와 같습니다.
1)phosphosilicate spin-on dopant (PSD,PSG59210,제조사 Tokyo Ohka)
2)Phosphorus doped SOD solution (P505,P506,P507,P509, 제조사 Filmtronics)
이상 2가지 제품에 대해서 국내 구입방법이나 취급처를 알고 싶습니다.
그럼 답변 기다리겠습니다.
- dopant
- spin-on
- phosphorus
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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