2008-05-01
org.kosen.entty.User@5848dc08
남재우(njworange)
- 2
-안녕하세요.
-저희 연구실에서 박막 증착장비를 사용하는데, 그 장비에 Rotary Vane Pump를 사용하고 있습니다. 박막 증착과정에서 Side Product로 HCl이 나와서 Pump가 심각하게 손상을 입고 있는데요. 한 달 사이에 Pump만 3대 교체하고 있습니다.
-HCl을 잡을 수 있는 Trap이 없다고 듣기만 했는데, 정말 HCl을 잡을 수 있는 Trap이 없나요?
- Rotary Pump
- Trap
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 2
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답변
안길홍님의 답변
2008-05-02- 0
Pump의 재질이 무엇인데 HCl에 의하여 3대씩이나 갈았나요? SUS 303 재질 pump를 사용하였나요? 한번 check하여 보시고,Brass 같은 pump같으면 SUS303으로 교체하시기를... -
답변
장용운님의 답변
2008-05-03- 0
>-안녕하세요. > >-저희 연구실에서 박막 증착장비를 사용하는데, 그 장비에 Rotary Vane Pump를 사용하고 있습니다. 박막 증착과정에서 Side Product로 HCl이 나와서 Pump가 심각하게 손상을 입고 있는데요. 한 달 사이에 Pump만 3대 교체하고 있습니다. > >-HCl을 잡을 수 있는 Trap이 없다고 듣기만 했는데, 정말 HCl을 잡을 수 있는 Trap이 없나요? HCl에 영향을 적게 주는 프라스틱펌프를 사용 해 보세요. 반도체/LCD용 펌프를 생산하는 티엠에스코리아 (053)854-7361 대표이사 김신호(010)3047-1230으로 연락 한 번 해 보세요^^*