2008-05-06
org.kosen.entty.User@5e0b6011
유제원(yjw8302)
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mems 기술로 microfluidics 의 pattering 하는 부분에 대한
자세한 내용이 담긴 자료를 구하고 있습니다.
거기에 더불어 mems 기술이 가지는 문제점이 어떤것인지, 제가 알기로 nanopattering 에 좀 어려운점이 있다고 하는데, 그에 대한 참고자료가 될 만한 것이 있으면 첨부해 주시면 감사하겠습니다.
한글, 영문 내용 모두 부탁드립니다.
- mems
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
장용운님의 답변
2008-05-06- 0
>mems 기술로 microfluidics 의 pattering 하는 부분에 대한 >자세한 내용이 담긴 자료를 구하고 있습니다. > >거기에 더불어 mems 기술이 가지는 문제점이 어떤것인지, 제가 알기로 nanopattering 에 좀 어려운점이 있다고 하는데, 그에 대한 참고자료가 될 만한 것이 있으면 첨부해 주시면 감사하겠습니다. > >한글, 영문 내용 모두 부탁드립니다. 첨부파일에 전자빔 리소그래피와 물리적으로 실리콘 칩이나 기타 기판에 나노크기의 패턴을 제작하는 나노임프린팅 기술분야에 대한 기술문헌정보와 특허 정보에 대한 계량적 정보분석이 있는 파일 “나노 패터닝의 연구개발 동향 및 정보분석“을 올립니다 참고하세요^^*