2008-05-07
org.kosen.entty.User@b6873c1
김대환(kchemen)
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너무 기초적인 질문일 듯 합니다만, 경험있는 제품 추천해주셨으면 합니다.
용도는 일반적인 쿼츠퍼니스(1 torr~상압) 가스 유량 제어용으로 사용할 것입니다.
굳이 비싼 MFC를 사용하는 것은 사치일 듯 합니다.
Gas는 H2, Ar, O2 이런 종류이고 유량범위는 0~200 SCCM 정도면 될 듯합니다.
그런대로 쓸만한 국산 메이커 추천바랍니다.
Readout이랑 MFC 2개 정도 해서 예산은 얼마 정도 잡아야 되는지도 조언 부탁드립니다.
- MFC
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답변 3
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답변
박진남님의 답변
2008-05-09- 0
정밀하게 유량을 조절하실 것이 아니라면, 유량은 마이크로 니들 밸브 또는 진공시스템용 밸브를 적당히 조합해서 조절하시고, 측정은 그 전단에 Mass flow meter를 다는 것이 낫지 않을까요? MFC controller는 국산이 있겠지만, MFC unit 메이커가 있는지는 저도 모르겠습니다. ============================================================== >너무 기초적인 질문일 듯 합니다만, 경험있는 제품 추천해주셨으면 합니다. >용도는 일반적인 쿼츠퍼니스(1 torr~상압) 가스 유량 제어용으로 사용할 것입니다. > >굳이 비싼 MFC를 사용하는 것은 사치일 듯 합니다. >Gas는 H2, Ar, O2 이런 종류이고 유량범위는 0~200 SCCM 정도면 될 듯합니다. >그런대로 쓸만한 국산 메이커 추천바랍니다. >Readout이랑 MFC 2개 정도 해서 예산은 얼마 정도 잡아야 되는지도 조언 부탁드립니다. -
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김준호님의 답변
2008-05-29- 0
어떤 제품이던지 판매하시는 분과의 대화가 가장 빠를것 같습니다. 1torr까지 쓰신다면 배기속도도 고려 하셔야 될 것 같습니다. 만약 쓰로틀밸브로 제어 하지 않는다면 200sccm도 적습니다. 저렴하게 원하시는 것이면 중고제품도 괜찮지 않을까요. 국산제품도 2년전인가 MFC가 나와서 저렴하게 판매하는 것으로 알고 있었습니다만 지금도 제작을 하고 있는지는 모르겠습니다. 그 당시 견적으로는 외산 중고가 한자리sccm만아닌경우에 약 70~80정도 한 것 같습니다. 국산도 마찮가지고요 위에 여러가지 메이커 MFC판매하시는 분의 URL을 연결 시켜 놨습니다. -
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김기효님의 답변
2008-06-11- 0
>너무 기초적인 질문일 듯 합니다만, 경험있는 제품 추천해주셨으면 합니다. >용도는 일반적인 쿼츠퍼니스(1 torr~상압) 가스 유량 제어용으로 사용할 것입니다. > >굳이 비싼 MFC를 사용하는 것은 사치일 듯 합니다. >Gas는 H2, Ar, O2 이런 종류이고 유량범위는 0~200 SCCM 정도면 될 듯합니다. >그런대로 쓸만한 국산 메이커 추천바랍니다. >Readout이랑 MFC 2개 정도 해서 예산은 얼마 정도 잡아야 되는지도 조언 부탁드립니다. 국내는 제어 및 정확도에서 아직은 기술적인 문제가 있습니다. mks 문의해 보세요 031-383-7745