2008-05-07
org.kosen.entty.User@5b5606d7
이근우(kkeun8722)
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제가 이렇게 글을 올리게 된것은 다름이 아니라
RF Generator와 Matching Box 관련해서 입니다.
현재 보유하고 있는 장비가 CCP인데 RF Generator와 Matching Box를 연결하려
합니다.
그런데 문제는 Matching Box가 ICP 타입이라는 것입니다.
제가 알고 있기로는 장비와 Matching 의 타입이 다를 경우 작동 될 수도 있지만
, 작동이 안될경우, 장비, 또는 RF Gen', 아니면 Matching Box에 손상이 가는
것으로 알고 있습니다.
제가 알고 있는 것이 맞는 내용인지 궁금하며,
만약 이러한 경우에 이를 제대로 사용하려면 어떻게 해야하는지 대처 방안도
궁금합니다.
고수님들의 많은 답변 부탁드리겠습니다.
그리고 일교차가 큰 5월 감기조심하시고, 건강하세요~~~~~
- RF Generator
- Matching Box
- ICP
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
안길홍님의 답변
2008-05-08- 0
Matching box의 하는 역활은 plasma 발생장치와 Rf generator와의 중간에서 완충역활, 즉 generator에서 이상 전류 및 전압,주파수가 발생한다 든지, 또는 plasma발생기 내에서 발생하는 이상 현상이 genertor로 역류하는 현상을 막아 주는 기능(전류의 checking작용으로 grounding됨)을 하는데, 만일 matching이 맞지 않으면 주파수 파형의 찌거러짐 현상 및 왜곡 현상이 일어 날 수 있습니다. 만일 분리형이라면 Rf generator같으면 크기가 조그만 여행용 가방 정도될 것이고,matching box도 크지 않으므로 오실레이터를 가지고 있는 고주파 발진기를 제조하는 업체에 가서 matching이 잘되는지 아닌지 실제 측정하여서 mismatching이 되면 box내부의 부품을 바꾸는 것이 가장 좋습니다. Box 내부의 구조(첨부자료와 같이)는 콘덴서와 코일(LC회로)로 되어 있기 때문에 수정하는데 큰 어려움이 없을 것입니다.