2008-05-08
org.kosen.entty.User@47f02971
양재훈(yjhy)
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Thickness sensor(Sycon사의 STM-100)를 사용하고 있습니다..
그런데 sensor부분을 chamber의 wall쪽에 고정하여 사용하려 하는데
chamber의 sealing이 문제가 되어 sensor를 부착하기 힘든 상태입니다..
혹시 좋은 아이디어 있으면 부탁드립니다..
그리고 다른 회사의 thickness monitor 중 chamber wall에 부착할 수 있는 thickness monitor가
있으면 알려주시면 감사하겠습니다..
빠른 답변 부탁드립니다..
- thickness
- sensor
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 2
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김도형님의 답변
2008-05-10- 0
질문 내용으로 봐서는 in-situ thickness monitoring을 하시려는 것 같은데요, 만일 leakage가 문제가 되어 내부에 설치를 못하신다면 챔버에 외부 레이저가 들어갈 수 있는 quartz 창은 있는지요? 보통 모니터링을 위해 창을 만들어 놓는 경우가 종종 있습니다만... 이 경우 엘립소미터(타원기)를 외부에 부착하고 레이저를 quartz 창을 통하여 쏘아 in-situ thickness monitoring을 할 수 있습니다. 단, quartz창이 챔버 내부 기판을 중심으로 반대편에 대칭으로 2개 존재하여야 합니다. 큰 도움은 못된듯 합니다^^ >Thickness sensor(Sycon사의 STM-100)를 사용하고 있습니다.. > >그런데 sensor부분을 chamber의 wall쪽에 고정하여 사용하려 하는데 > >chamber의 sealing이 문제가 되어 sensor를 부착하기 힘든 상태입니다.. > >혹시 좋은 아이디어 있으면 부탁드립니다.. > >그리고 다른 회사의 thickness monitor 중 chamber wall에 부착할 수 있는 thickness monitor가 > >있으면 알려주시면 감사하겠습니다.. > >빠른 답변 부탁드립니다.. > -
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윤선님의 답변
2008-05-15- 0
어떤 증착기를 사용하고 계신지요?? 증착기종을 알았음 더 좋은 아이디어들로 답변이 가득할거 같네요. 챔버 구조와 사이즈도 있었음 더 좋구요. 고수님들께서 다덜 친철히 아이디어를 제공해 주실겁니다. 우선은 챔버에 포트를 따로 하나더 장말하심이 가장 좋은 아이디어인데 이것은 역시 금전적인 관계가 따르기에... 추가하여 주시는데로 저두 아이디어에 동참하겠습니다.