2008-05-20
org.kosen.entty.User@6f2f0ad1
이근우(kkeun8722)
- 1
연달아서 이렇게 질문을 올리게 됐습니다.
N2를 사용, RF 전원을 이용하여 플라즈마를 방전시키려 합니다.
저희가 glow 방전을 하려고 하는데 RF를 이용한 글로우 방전에서는 보통
아르곤 또는 헬륨을 이용하여 방전을 하는 것으로 알고 있습니다.(이온화 에너지가 작기때문에)
또한 N2의 경우 이온화 에너지가 높아 보통 저주파, 고전압을 사용하므로 MF를 이용하여 방전을 한다고 알고 있습니다.
따라서 RF 전원을 이용하여, N2를 사용하려 하는데, 인가 전원을 얼마로 인가 해야할지 막막하네요..
참고로 전극의 크기는 600x40mm입니다.(물론 전극 두개 모두 유전체로 덮여 있
습니다.
또한 처음에 어떻게 해야 리퍼런스 조건을 잡을 수 있지도 궁금합니다.
고수님들의 많은 답변 부탁드립니다.
- N2
- RF
- plasma
지식의 출발은 질문, 모든 지식의 완성은 답변!
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
답변 1
-
답변
김도형님의 답변
2008-05-25- 0
보통 실험 장비에서 인가할 수 있는 최대 출력이 있지 않나요? 보통 이런 것은 고민하지 않고 그냥 Ar 방전 전압부터 시작해서 전압을 장비허용 출력 직전까지 높여가며 방전이 되는지 확인해서 레퍼런스를 잡습니다만... >연달아서 이렇게 질문을 올리게 됐습니다. > >N2를 사용, RF 전원을 이용하여 플라즈마를 방전시키려 합니다. > >저희가 glow 방전을 하려고 하는데 RF를 이용한 글로우 방전에서는 보통 > >아르곤 또는 헬륨을 이용하여 방전을 하는 것으로 알고 있습니다.(이온화 에너지가 작기때문에) > >또한 N2의 경우 이온화 에너지가 높아 보통 저주파, 고전압을 사용하므로 MF를 이용하여 방전을 한다고 알고 있습니다. > >따라서 RF 전원을 이용하여, N2를 사용하려 하는데, 인가 전원을 얼마로 인가 해야할지 막막하네요.. > >참고로 전극의 크기는 600x40mm입니다.(물론 전극 두개 모두 유전체로 덮여 있 > >습니다. > >또한 처음에 어떻게 해야 리퍼런스 조건을 잡을 수 있지도 궁금합니다. > >고수님들의 많은 답변 부탁드립니다.