2008-05-21
org.kosen.entty.User@3bdd4fa1
김기중(heykijoong)
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Al2O3, SiO2 를 스퍼터링한 후 퍼니스로 옥시데이션 하고 싶은데 가능한가요?
가능하면 조건 방법좀 알려주세요...
물론 그냥 타겟사서 하면 제일 좋겠지만, 그런 여유가 있지가 않아서요..
조건아시는 분이나, 참고 자료 있음 추천해주세요~
- Al2O3
- SiO2
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
유세훈님의 답변
2008-05-30- 0
> >Al2O3, SiO2 를 스퍼터링한 후 퍼니스로 옥시데이션 하고 싶은데 가능한가요? > >가능하면 조건 방법좀 알려주세요... > >물론 그냥 타겟사서 하면 제일 좋겠지만, 그런 여유가 있지가 않아서요.. > >조건아시는 분이나, 참고 자료 있음 추천해주세요~ - 질문은 Al과 Si를 스퍼터링후 옥시데이션시켜 Al2O3와 SiO2로 변환시킨다는 말씀이신지요? 아니면 reactive sputtering을 하여 Al2O3-x로 stoichiometry가 작아져서 이를 완벽한 stoichiometry로 바꾸신다는 의미인지? 산화는 충분이 가능합니다만, Al과 Si를 산화시키면 부피가 커지기 때문에 막이 들고 일어날 수도 있습니다. Stoichiometry를 맞추기 위해 산화를 시키는 것은 종종 많이 하는 방법이고요 막이 들고 일어나지는 않습니다.