지식나눔

TFT Pixel 구조의 Contact window Size관련 기술에 대해서

현재 TFT 소자 구조에 대한 특성 이해가 어려워 이렇게 글을 올립니다. 현재 TFT 구조에서 glass/Gate/a-si/n+/S/D/Pass.(SiNx) or 유기막/Pixel(TCO)성막진행시 Contact holl(contact window) Size 변경에 대해서 mobility 증가 원인이 되는지? 단순 Contact 저항을 낮추기 위해서 Size 변경이 진행되는 이유인지 정확한 내용에 대해서 알고 싶습니다. 관련기술 논문등 어떠한 답변도 부탁드립니다. 이상
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