2008-05-28
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김용현(yongari13)
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안녕하세요
실험중에 문제점이 있어서 질문드립니다
RF magnetron sputtering으로 박막을 증착하고 있습니다
어느새 부턴가
플라즈마를 형성시키면 플라즈마가 떨리는 현상이 발생하였습니다
기판을 회전시키기 전에는 플라즈마가 안정하지만
기판을 회전시키는 도중에는 플라즈마가 떨리기 시작합니다
그로 인해 박막의 특성이 나빠진것 같습니다
-7승 torr정도의 진공도에서 로테이팅을 시키면 0.3*10-7승 정도로 진공도가 나빠지는데
leak이 있어서 그런건가요?
왜이런 현상이 생기는지 궁금합니다
해결책이 없을지요?
답변 부탁드립니다
감사합니다
- sputtering
- plasma
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 3
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답변
김도형님의 답변
2008-06-01- 0
다양한 원인이 있겠지만 기판을 회전시키기 전에는 괜찮다가 회전을 시키면 문제가 된다면 power leak 문제도 의심해 볼 수 있지 않을까요? 기판 회전 전후에 플라즈마 전압-전류를 모니터링해 보세요. 혹시 떨어지지 않는지... 회전시 진공도가 떨어져서 플라즈가가 불안정해 질 수도 있는데 말씀하신 수치를 보면 진공도가 크게 떨어지는 것은 아닌 것 같습니다. >안녕하세요 >실험중에 문제점이 있어서 질문드립니다 >RF magnetron sputtering으로 박막을 증착하고 있습니다 > >어느새 부턴가 >플라즈마를 형성시키면 플라즈마가 떨리는 현상이 발생하였습니다 > >기판을 회전시키기 전에는 플라즈마가 안정하지만 >기판을 회전시키는 도중에는 플라즈마가 떨리기 시작합니다 > >그로 인해 박막의 특성이 나빠진것 같습니다 >-7승 torr정도의 진공도에서 로테이팅을 시키면 0.3*10-7승 정도로 진공도가 나빠지는데 >leak이 있어서 그런건가요? > > >왜이런 현상이 생기는지 궁금합니다 >해결책이 없을지요? > >답변 부탁드립니다 >감사합니다 -
답변
김기현님의 답변
2008-06-03- 0
앞에서 답변하신분의 의견도 맞습니다. 또다른 원인은 회전모터를 가동시킬 때 자체의 파워손실에 영향을 미칠 수도 있으며 모터 회전시에 따른 전력의 불안정성도 하나의 원인이 될 수 있고 가능성이 많지는 않지만 모터 회전에 따른 노이즈가 영향을 미칠 수도 있습니다. 하지만 일반적으로 회전속도가 빠르지 않기 때문에 노이즈 영향보다는 전력의 불균일에 따른 영향일 가능성이 크다고 볼 수 있습니다. >안녕하세요 >실험중에 문제점이 있어서 질문드립니다 >RF magnetron sputtering으로 박막을 증착하고 있습니다 > >어느새 부턴가 >플라즈마를 형성시키면 플라즈마가 떨리는 현상이 발생하였습니다 > >기판을 회전시키기 전에는 플라즈마가 안정하지만 >기판을 회전시키는 도중에는 플라즈마가 떨리기 시작합니다 > >그로 인해 박막의 특성이 나빠진것 같습니다 >-7승 torr정도의 진공도에서 로테이팅을 시키면 0.3*10-7승 정도로 진공도가 나빠지는데 >leak이 있어서 그런건가요? > > >왜이런 현상이 생기는지 궁금합니다 >해결책이 없을지요? > >답변 부탁드립니다 >감사합니다 -
답변
권해용님의 답변
2008-07-22- 0
보통 어느정도 큰 스퍼터 장비는 여러 기판을 사용하기위해 Anode부분도 큰것 같습니다. 오랬동안 증착을 많이 해오셨다면 분명 Anode에도 타겟에 있던 물질들이 많이 쌓여서 막이 형성 되지 않았나 생각됩니다. 그러면 그로 인해 전압의 불균형이 생길 수 있고 아마 리플렉트 전압이 오르락 내리락 하거나 또는 스퍼터링 중 분순물이 생겨 기판을 오염을 유발을 시킬 우려가 있지 않을까 생각해봅니다. 어디까지나 의견입니다; 감사합니다.