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지식나눔

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ion implantation의 최신공정에 관한 자료를 찾고 있습니다.

2008-06-07 org.kosen.entty.User@ac990e2 여준호(yeoya)
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반도체 공정에 관련된 공부를 하고있는중. 각 subject에 관련된 최신공정이 어느 단계까지 진행되고 있나 궁금해서 질문하게 됐습니다. ion implantation, Metallization, photolithography, etching 등에 관련된 공정자료가 있으신분은 부탁좀 드리겠습니다. implantation로 검색해보니 2005년 나노 파티컬관련 논문이 있던데. 이해하기가 좀 난해한것 같아서 되도록이면 흐름을 알 수 있게 한글 파일로 되어있으면 좋겠습니다.
  • implantation
  • ion
  • etching
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답변 1
  • 답변

    안길홍님의 답변

    2010-02-05
    • 0

    첨부파일

    >반도체 공정에 관련된 공부를 하고있는중.>각 subject에 관련된 최신공정이 어느 단계까지 진행되고 있나>궁금해서 질문하게 됐습니다.>ion implantation, Metallization, photolithography, etching>등에 관련된 공정자료가 있으신분은 부탁좀 드리겠습니다.>>implantation로 검색해보니 2005년 나노 파티컬관련 논문이 있던데.>이해하기가 좀 난해한것 같아서 되도록이면 흐름을 알 수 있게>>한글 파일로 되어있으면 좋겠습니다. 첨부자료
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    >반도체 공정에 관련된 공부를 하고있는중.>각 subject에 관련된 최신공정이 어느 단계까지 진행되고 있나>궁금해서 질문하게 됐습니다.>ion implantation, Metallization, photolithography, etching>등에 관련된 공정자료가 있으신분은 부탁좀 드리겠습니다.>>implantation로 검색해보니 2005년 나노 파티컬관련 논문이 있던데.>이해하기가 좀 난해한것 같아서 되도록이면 흐름을 알 수 있게>>한글 파일로 되어있으면 좋겠습니다. 첨부자료
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