2008-06-10
org.kosen.entty.User@a343b9b
김기효(kkg0820)
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문의 드립니다.
Ti(금속) Target으로 TiO2(산화물) 만들 수 있는지
Si(금속) Target으로 SiO2(산화물) 만들 수 있는지
만들 수 있으면 기판(PMMA,사출물)/Ti/Si/Ti/Si/Air
BBAR Coating 가능한지 알고 싶습니다.
프라즈마 기초부터 배우는 중입니다. 책에서 Power, Gas, 전자온도
전자밀도, 이온, 발광 등 자료는 있지만 Ti&Si Target을
사용하여 실험한 내용이 없어 문의 드립니다.
그리고 현실적으로 금속에서 산화물 Coating 가능합니까.
책: 반도체장비기술교육센타(플라즈마기술과정)
- kkh
지식의 출발은 질문, 모든 지식의 완성은 답변!
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
답변 1
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답변
고상운님의 답변
2008-06-13- 0
>문의 드립니다. >Ti(금속) Target으로 TiO2(산화물) 만들 수 있는지 >Si(금속) Target으로 SiO2(산화물) 만들 수 있는지 >만들 수 있으면 기판(PMMA,사출물)/Ti/Si/Ti/Si/Air >BBAR Coating 가능한지 알고 싶습니다. >프라즈마 기초부터 배우는 중입니다. 책에서 Power, Gas, 전자온도 >전자밀도, 이온, 발광 등 자료는 있지만 Ti&Si Target을 >사용하여 실험한 내용이 없어 문의 드립니다. >그리고 현실적으로 금속에서 산화물 Coating 가능합니까. >책: 반도체장비기술교육센타(플라즈마기술과정) 제가 이분야의 전문가는 아니라 이분야를 직접개발했던 분을 소개해 드릴게요... 은반사필름을 개발했는데 필름위에 은을 스퍼터링하고 Ti를 산화방지 코팅 처리한 제품입니다. 업체명: 팬시스템 대표자: 박 종호 전화번호: 019-9141-4429